Di lantai pengeluaran, proses pembungkusan WLP menyebabkan berlakunya masalah seperti kawasan yang “hidup” dan kawasan yang “mati” semasa proses pemanggangan. Adakah terdapat perbezaan suhu pada lapisan fotoresist atau pada bahan epoxy yang digunakan untuk membentuk acuan? Ini akan menyebabkan ketidaktetapan lebar garisan, adanya rongga di antara komponen-komponen tersebut, serta kelengkungan pada permukaan komponen tersebut. Ketidaktetapan suhu di seluruh panel yang dibuat juga akan menyebabkan masalah seperti komponen yang rosak dan kehilangan kapasiti pengeluaran.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Kami telah membangunkan alat pemanas ini untuk memenuhi standard suhu yang diperlukan dalam peralatan semikonduktor. Kestabilan suhu adalah sekitar ±0.1°C, dan ia memastikan keseragaman suhu pada permukaan aktif komponen tersebut. Unsur inframerah berfrekuensi rendah bersama dengan sistem penghubung termal yang efektif membolehkan kawalan suhu yang lebih baik semasa proses pemanggangan. Alat ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, kerana ia menggunakan bahan-bahan yang tidak menghasilkan gas berbahaya. Alat ini boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan, dan memastikan keseragaman proses pengeluaran dari satu batch ke batch yang lain.
Mengapa alat ini berkesan:
Dalam proses pembungkusan WLP, tenaga dipindahkan ke permukaan yang lebih luas namun tipis, tanpa merosakkan bahagian tepi komponen tersebut. Alat pemanas ini membolehkan kawalan suhu yang tepat pada titik yang penting, iaitu di antara lapisan fotoresist dan acuan. Dengan cara ini, gradien suhu tidak akan menyebabkan tekanan atau ketidaktetapan dimensi pada komponen tersebut. Ini membolehkan prestasi yang dapat diramalkan, pengurangan keperluan untuk memperbaiki komponen, serta profil pengeringan yang stabil.
Penggunaan tenaga berkurangan kerana jisim termal yang rendah dan sistem kawalan yang efektif. Selain itu, jangka masa penyelenggaraan juga bertambah panjang kerana unsur-unsur yang digunakan tahan lama dan antaramuka mekanikalnya bersih.
Perkara yang perlu diketahui:
Proses pemasangan melibatkan penyesuaian antaramuka chuck serta memastikan jenis sumber kuasa dan konektor yang digunakan sesuai dengan spesifikasi alat tersebut. Pastikan tekanan di dalam bilik dan aliran gas sentiasa berada pada tahap yang ditetapkan; sebarang perubahan akan menyebabkan ketidaktetapan suhu. Lakukan ujian pendek untuk menentukan profil suhu yang sesuai untuk panel tersebut, agar proses pengeluaran dapat berjalan dengan lancar.