Op de productielijn leidt het gebruik van deze heater tot een gelijkmatige verdeling van de warmte over het oppervlak van de wafer. Is er sprake van ongelijkmatige opwarmingsgraden in de fotoresist of in het epoxidehars? Dan zal er sprake zijn van ongelijkmatigheden in de dikte van de lijnen, lege ruimtes tussen de componenten en vervormingen. Ongelijkmatigheden in de temperatuurverspreiding over het gehele paneel hebben niet alleen invloed op de gegevens die worden verzameld, maar ook op de kwaliteit van de producten en de productiecapaciteit.
Wat technisch belangrijk is We hebben deze heater ontworpen om aan de thermische standaarden te voldoen die gelden voor halfgeleiderapparatuur. De stabiliteit van de ingestelde temperatuur is ±0,1°C. Hierdoor wordt er een gelijkmatige verdeling van de temperatuur over het actieve oppervlak bereikt. De heater beschikt over korte-golfinfrarood-elementen met kwartsversterkte thermische overdracht, waardoor er een snelle respons mogelijk is en de temperatuur nauwkeurig kan worden geregeld tijdens het opwarmingsproces.
De heater is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100: de constructie is zo ontworpen dat er geen partikels vrijkomen, en de gebruikte materialen geven geen gassen af. De heater kan 24/7 draaien zonder onderbrekingen, waardoor de reproduceerbaarheid van het productieproces behouden blijft.
Waarom het werkt Bij het gebruik van deze heater wordt energie over grotere, dunne panelen verdeeld, zodat de randen niet beschadigen. De heater zorgt ervoor dat de temperatuur precies op de juiste plek wordt geregeld – namelijk op de grens tussen de fotoresist en het harsmateriaal. Hierdoor worden er geen spanningen of dimensionele ongelijkheden veroorzaakt. Er wordt een betrouwbare controle van de belangrijkste dimensionele parameters bereikt, waardoor er minder herwerkingen nodig zijn en de opwarmingsparameters constant blijven.
De energieverbruik neemt af omdat de thermische massa laag is en de regeling nauwkeurig is. Ook de onderhoudsintervallen worden langer, dankzij de lange levensduur van de componenten en de goede mechanische eigenschappen van het apparaat.
Wat u moet weten Voor de installatie is het belangrijk om de interface van de chuck te matchen en te controleren of de stroomvoorziening en de connectors overeenkomen met de specificaties van uw apparaat. Houd de druk in de kamer en de gasstroom op de gewenste waarde; anders kan de gelijkmatigheid van de temperatuur worden verstoord. Plan een kort testproces om het thermische profiel te bepalen en de juiste instellingen vast te leggen.