Op de productielijn is het belangrijk om rekening te houden met bepaalde parameters: zelfs een afwijking van een halve graad tijdens het proces kan al ervoor zorgen dat de controle over de belangrijkste dimensies niet meer mogelijk is. Dit leidt tot defecten in het fotorestermateriaal. Er is dus behoefte aan een warmtebron die zich als een constante gedraagt, in plaats van als nog een variabele die moet worden gereguleerd.
Wat technisch gezien belangrijk is: Wij gebruiken lampen met twee buizen en een goudcoating. Deze lampen maken gebruik van kortegolflengte-infraroodlicht en zijn geplaatst in een goudcoated kwartsomhulsel. Hierdoor wordt er snel en gericht warmte gegenereerd, met minimale stralingsverliezen. De dubbele-buisstructuur zorgt voor een gelijkmatige verdeling van de warmte, waardoor er minder ‘hot spots’ ontstaan en de temperatuurovereenstemming op het wafeloppervlak verbetert.
In werkelijkheid wordt er een temperatuurovereenstemming van ±0,1°C bereikt tijdens zowel het zachte als het harde bakproces. De herhaalbaarheid van de instellingen is ±0,2°C per batch. De goudcoating weerkaatst het infraroodlicht terug naar het gewenste gebied, waardoor de thermische profilering verbetert en de energieverbruik wordt beperkt. Na 5.000+ uur blijft de prestatie stabiel, met minder dan 5% afwijking in de intensiteit.
Waarom dit werkt in de productie: Bij het verwerken van fotorestermateriaal mag er nauwelijks fout gaan. Het zachte bakproces zorgt voor de juiste viscositeit en hechting van het materiaal; het harde bakproces zorgt er juist voor dat het patroon wordt vastgezet en het materiaal klaar is voor het etapprocess. Deze lampen kunnen worden gebruikt voor lithografieprocessen van 150 mm tot 300 mm. Ze zijn geschikt voor gebruik in schone ruimten van klasse 1 tot 100, zonder dat er partikels vrijkomen tijdens het gebruik.
Dit zorgt voor een betere controle over de dimensies van het product, minder herwerkingsmomenten en minder afval. De warmte gaat precies waar het nodig is, zodat er geen energie verspild wordt. Bovendien blijft de prestatie stabiel, zelfs bij 24/7 gebruik. Dit betekent minder problemen en kortere onderhoudsintervale.
Wat je moet controleren tijdens de installatie: Tijdens de installatie is het belangrijk om nauwkeurige optische alignering te bereiken en om ervoor te zorgen dat alle onderdelen goed geïsoleerd zijn tegen trillingen. Een kleine afwijking van enkele millimeters kan al leiden tot problemen met de uniformiteit.
De lampen werken bij hoge intensiteit. Daarom moet de thermische beheersing van het ondergrondsysteem en de tijdsinstellingen goed worden afgestemd op de vereisten. Voordat je de lampen installeert, moet je controleren of de spanning en connectors compatibel zijn met je systeem. Als alles goed is afgesteld, kun je elke dag consistentie boeken in de resultaten.