การลดปริมาณคาร์บอนในเครื่องมือสำหรับการผลิตแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ด้วยการใช้แสงอินฟราเรด
ตอนนี้ทุกคนพูดถึง “โรงงานสีเขียว” กันมาก นี่คือแนวทางสำคัญในการออกแบบโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หนึ่งในวิธีที่ง่ายที่สุดในการลดปริมาณคาร์บอนที่ก่อให้เกิดขึ้นก็คือ การเลิกใช้เครื่องทำความร้อนแบบรีzิสทีฟ และหันมาใช้หลอดไฟอินฟราเรดแทน
นี่คือเหตุผลว่าทำไมมันถึงสำคัญ
เครื่องทำความร้อนแบบรีzิสทีฟนั้นมีข้อเสียมาก เพราะมันต้องใช้พลังงานจำนวนมากเพื่อทำให้ผนังของห้องอบร้อนขึ้น ก่อนที่แผ่นเซมิคอนดักเตอร์จะรู้สึกถึงความร้อนเลย นั่นเป็นการสิ้นเปลืองพลังงานโดยเปล่าประโยชน์
ส่วนหลอดไฟอินฟราเรดนั้นทำงานแตกต่างออกไป มันสามารถส่งรังสีแม่เหล็กไฟฟ้าไปยังพื้นผิวของแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ได้โดยตรง ดังนั้นจึงสามารถทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์ร้อนขึ้นได้อย่างรวดเร็ว การลดเวลาในการทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์ร้อนขึ้นนี้ ก็หมายความว่าเครื่องมือจะไม่ต้องใช้พลังงานมากเท่าเดิม
นอกจากนี้ยังมีปัญหาเรื่องความร้อนสะสมอีกด้วย เมื่อเราใช้หลอดไฟอินฟราเรดชนิดคลื่นสั้น เราจะได้ความหนาแน่นของความร้อนที่สูง ซึ่งช่วยให้เราสามารถทำกระบวนการประมวลผลด้วยความร้อนสูงได้ โดยไม่ทำให้ส่วนอื่นๆ ของเครื่องมือร้อนเกินไป
นี่คือจุดที่เราสามารถประหยัดพลังงานได้ แต่ก็มีข้อเสียเช่นกัน เพราะหลอดไฟอินฟราเรดนั้นไม่สามารถใช้งานได้ตลอดไป เราจึงต้องเปลี่ยนหลอดไฟบ่อยกว่าการใช้เครื่องทำความร้อนแบบเซรามิก นี่คือข้อแลกเปลี่ยนที่เราต้องยอมรับ
สุดท้ายแล้ว สิ่งที่สำคัญก็คือ “ความเฉื่อยทางความร้อน” การมุ่งเน้นไปที่แผ่นเซมิคอนดักเตอร์โดยตรง แทนที่จะทำให้เครื่องมือทั้งหมดร้อนขึ้น จะช่วยให้เราไม่สิ้นเปลืองพลังงาน นี่คือวิธีที่เป็นประโยชน์จริงๆ ในการบรรลุเป้าหมายด้านความเป็นกลางทางคาร์บอน โดยไม่ส่งผลต่ออัตราการผลิตหรือคุณภาพของผลิตภัณฑ์