لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کا عمل دراصل ایک “وارم اپ” عمل نہیں ہے؛ بلکہ یہ دراصل تھرمل پروسیس ہے۔ اگر اس عمل میں تھوڑا سا بھی فرق پڑ جائے، تو کریٹیکل ڈائمینشنز کی درستگی ختم ہو جاتی ہے۔ اگر اس عمل میں ذرات کی تخلیق بھی ہو جائے، تو پورا پروسیس بیکار ہو جاتا ہے۔ لہذا، ایسا انفراریڈ ذریعہ ضروری ہے جو مستقل حرارت فراہم کرے، تاکہ کوئی قیاس آرائی کی ضرورت نہ رہے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم نے فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے لئے ایسا انفراریڈ لیمپ تیار کیا ہے جو شارٹ-ویو NIR روشنی استعمال کرتا ہے، اور اس کے علاوہ فاسٹ-ریسپانس والے کوارٹز عناصر بھی استعمال کئے گئے ہیں۔ اس سسٹم کی خصوصیت یہ ہے کہ یہ ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی حد تک تھرمل یکسانیت فراہم کرتا ہے؛ تاکہ ہر ڈائی کو یکساں حالات میں گرم کیا جا سکے۔ کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کو برقرار رکھنے کے لئے، کم گیس خارج کرنے والے مواد اور ایسی جیومیٹری استعمال کی گئی ہے جس سے ذرات کی تخلیق کم ہوتی ہے۔ ذرات کی کوئی تخلیق نہ ہونا ہمارا عزم ہے؛ اور اس کے لئے ہم کنٹرولڈ مواد اور سیلڈ تھرمل پاتھ کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ لیمپ 24/7 چلتا رہتا ہے، اور 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے عرصے تک اس کی کارکردگی برقرار رہتی ہے۔
یہ لیمپ کیوں کامیاب ہے؟
یہ لیمپ فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے لئے درست جگہ پر کام کرتا ہے۔ یہ ویفر کو تیزی سے گرم کرتا ہے، پھر اسے وہیں رکھتا ہے۔ اس کے نتیجے میں پروسیس کی درستگی بہتر ہوتی ہے، اور فضول مال کم ہوتا ہے۔ یکساں حرارت سے فیلڈ کے کناروں پر پیدا ہونے والے دوشیں کم ہو جاتے ہیں، اور تیز تھرمل ریسپانس سے پروسیس کا وقت کم ہو جاتا ہے، بغیر پروفائل پر کوئی اثر پڑے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ لیمپ صرف ضرورت کے وقت ہی گرم ہوتا ہے، اور جلد ہی ٹھنڈا ہو جاتا ہے۔ لیمپ کی تبدیلی کم ہونے سے مرمت کے کام بھی کم ہو جاتے ہیں۔
پہلے سے جاننے کی باتیں:
لیمپ کی تنصیب کے لئے، ریفلیکٹر کی جیومیٹری اور اپرچر کو کوٹر/ٹریک اوون کے مطابق ہونا ضروری ہے، اور لیمپ کو اوون کے درجہ حرارت سسٹم سے جوڑنا بھی ضروری ہے۔ انسٹالیشن سے پہلے، OEM انٹرفیس کے مطابق وولٹیج اور کنیکٹر کی سازگاری کی تصدیق کریں۔ سسٹم کے تھرمل استحکام کے لئے، شروع میں کچھ وقت لگ سکتا ہے۔ اپنے پروسیس کے لئے منصوبہ بندی کرتے وقت اس بات کو ضرور مدِ نظر رکھیں، تاکہ آپ مطلوبہ پروسیس ونڈو کے اندر ہی رہ سکیں۔