MEMS传感器晶圆干燥加热器

为什么红外线加热比热风加热更适用于MEMS晶圆干燥？ 如果您仍在使用热风循环方式来干燥MEMS传感器晶圆，那您其实是在浪费大量时间在等待上。这无疑是一个效率低下的方法。 热风加热依赖于对流原理：首先需要加热空气，然后再让空气去加热晶圆。这种过程存在中间环节，因此效率较低。而红外线加热则不同——它直...