高精度温控加热器

在制造车间，光刻胶烘烤过程中的半度摆动足以影响关键尺寸，并将一批产品变为废料。这就是为什么我们围绕一个点构建加热器：热稳定性不是“锦上添花”，而是过程本身。 技术上重要的事项 我们追求在夹具上实现±0.1°C的晶圆级均匀性，并确保设定点重复性在每一批次中保持一致。短波红外元件能够快速、干净地提供热...