防止半导体加工设备过热 传统红外灯的问题在于：它们会向各个方向散发热量。在空间有限的半导体加工环境中，这无疑会导致严重问题。所有这些多余的辐射都会照射到设备的内壁上，从而形成高温点，进而可能损坏设备结构，甚至危及操作人员的安危。 我们找到了解决这个问题的方法——使用镀金式的定向发光灯。 为什么选择...

在芯片制造过程中，有一点是必须遵守的：在软烘烤阶段，只要温度偏差达到半度，就足以导致关键尺寸控制失效，进而引发光刻胶缺陷。因此，需要使用能够提供稳定热量的光源，而不是那种会带来额外变量影响的光源。 从技术角度来看，重要的是什么？ 我们使用的是双管结构、表面经过镀金处理的灯管，它利用短波红外线来加热...