去离子水干燥灯

在晶圆制造过程中，一个微小的水渍都可能对光刻后的晶圆造成严重损害。传统的干燥方式会导致温度波动，同时，颗粒物也会从高温表面附着在晶圆上。我们设计了去离子水干燥系统，以此来消除这些问题。短波红外线能够快速加热水膜的表面，而不会影响到光阻层。这样一来，晶圆就能得到彻底的干燥处理，而且整个干燥过程的温度...