ফ্যান-আউট ডব্লিউএলপি প্রক্রিয়ায়, বেকিং প্রক্রিয়ার সময়ই “লাইভ” ও “ডাই” অবস্থাগুলো নির্ধারিত হয়। ফটোরেজিস্টের ক্ষেত্রে তাপমাত্রার পরিবর্তন বা এপাক্সি মডেল কম্পাউন্ডের ক্ষেত্রে কয়েক ডিগ্রির পরিবর্তন ঘটলে লাইনের প্রস্থ নিয়ন্ত্রণ হারিয়ে যায়; ফলে অপ্রয়োজনীয় শূন্যস্থান ও বেঁকে যাওয়ার সমস্যা দেখা দেয়। পুনর্গঠিত প্যানেলের ক্ষেত্রে তাপীয় অসমতা কেবল চার্টেই দেখা যায় না—এর ফলে অপ্রয়োজনীয় পণ্য তৈরি হয় এবং উৎপাদন ক্ষমতা হ্রাস পায়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই ফ্যান-আউট ওয়্যাহর লেভেল প্যাকেজিং হিটারটি সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলোর জন্য প্রয়োজনীয় তাপীয় মানদণ্ডগুলো পূরণ করার জন্য তৈরি করেছি। সেটপয়েন্টের স্থিতিশীলতা ±0.1°C; ফলে ওয়্যাহর সমগ্র পৃষ্ঠে তাপীয় সমানতা বজায় থাকে। কোয়ার্টজ-সহায়িত ইনফ্রারেড উপাদানগুলোর কারণে দ্রুত প্রতিক্রিয়া ও নিখুঁত তাপীয় নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়।
ক্লাস 1–100 ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত: কণা-নিয়ন্ত্রিত কাঠামো, এমন উপকরণ যা গ্যাস নির্গত করে না। এই যন্ত্রটি ২৪/৭ ঘন্টা চলতে পারে; ফলে প্রক্রিয়াটি প্রতিবারই একইভাবে চলে।
এটি কেন কার্যকর?
ফ্যান-আউট ডব্লিউএলপি প্রক্রিয়ায়, বড় ও পাতলা প্যানেলগুলোতে শক্তি সরবরাহ করা হয়; কিন্তু প্যানেলের কিনারাগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। এই হিটারটি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণকে সঠিক জায়গায় রাখে—অর্থাৎ রেজিস্ট ও মডেলের ইন্টারফেসে। ফলে তাপীয় পার্থক্যগুলো কোনো সমস্যা সৃষ্টি করে না। এর ফলে প্রত্যাশিত ফলাফল পাওয়া যায়, পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়, এবং কারিগরি প্রক্রিয়াগুলো স্থিতিশীল থাকে।
শক্তি ব্যবহার কমে যায়…
কারণ তাপীয় ভর কম এবং নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা দক্ষ। মেরামতের সময়ও কমে যায়—কারণ উপাদানগুলো দীর্ঘস্থায়ী এবং যান্ত্রিক ইন্টারফেসগুলো নিখুঁত।
জানা উচিত যে…
ইনস্টলেশনের সময় চাকের ইন্টারফেস মেলানো এবং পাওয়ার সাপ্লাই ও কানেক্টরের ধরণ নিশ্চিত করা জরুরি। চেম্বারের চাপ ও গ্যাস প্রবাহকে প্রক্রিয়ার নির্ধারিত মানে রাখতে হবে; অন্যথায় সমানতা নষ্ট হয়ে যাবে। তাপীয় প্রোফাইল নির্ধারণের জন্য একটি সংক্ষিপ্ত পরীক্ষা করা উচিত।