Verhindern Sie, dass Ihre Halbleiterwerkzeuge überhitzen.
Das Problem mit herkömmlichen Infrarotlampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen abgeben. In einem beengten Halbleiterofen führt das zu Katastrophen. Die überschüssige Strahlung trifft auf die Innenwände des Ofens und erzeugt dort heiße Stellen, welche das Gehäuse beschädigen können – oder schlimmer noch, den Bediener verbrennen können.
Wir haben eine Lösung gefunden: Wir verwenden laminierte Lampen mit Goldbeschichtung.
Warum Gold?
Es klingt zwar spektakulär, aber eigentlich ist es ganz einfach. Auf der Rückseite des Quarzgehäuses wird eine dünne Goldschicht aufgetragen. Das Gold fungiert dabei wie ein Spiegel für Infrarotstrahlen. Anstatt dass die Wärme in den Maschinenrahmen abgeleitet wird, wird sie durch die Goldbeschichtung wieder zurück zur Wafer dirigiert. Dadurch wird aus der Lampe ein präzises Werkzeug. So erhält man eine viel stärkere Wärmeeinwirkung auf das Zielobjekt, ohne dass der Innenteil der Lampe zum Ofen wird.
Die Nachteile, die man kennen sollte
Es gibt jedoch einen Haken: Da alle Energie auf das Werkstück konzentriert wird, steigt die Wärmestärke dort an. Man muss daher besonders vorsichtig mit den PID-Steuerungen umgehen. Wenn man nicht genau genug vorgeht, kann die Zieltemperatur überschritten werden. Um dem Stress durch schnelles Erhitzen und Abkühlen entgegenzuwirken, verwenden wir hochreinen Quarz. Zudem passen wir die Endkappen so an, dass die Lampen auch bei Vibrationen der Maschine fest sitzen bleiben.
So funktioniert es in Ihrer Anlage
Das Beste daran ist, dass man diese voluminösen Wärmschutzschilde sowie leistungsstarke Kühlfans vermeiden kann. Dadurch wird die innere Anordnung der Maschine deutlich übersichtlicher.
Ein Tipp: Bei der Verkabelung sollten Sie sicherstellen, dass die goldbeschichtete Seite nicht in Richtung von Kunststoffteilen oder Kabeln zeigt. Falls Sie diese Lampen in ein altes System einbauen, überprüfen Sie unbedingt die Stromversorgung. Da die Zielzone stärker belastet wird, könnte es notwendig sein, die Zeit bis zur Erreichung der Zieltemperatur zu verlängern. Man möchte schließlich nicht, dass das Substrat kaputtgeht, nur weil man es eilig hat.