دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن فضای داخل فر باشید؛ چرا که فناوری مادون قرمز، روش بهتری برای پردازش نیمههادیها است.
اگر تجربه کار در آزمایشگاههای نیمههادی را داشته باشید، میدانید که چقدر آزاردهنده است که باید منتظر گرم شدن هوای موجود در فضا باشید. این روش بسیار آهسته است؛ در محیطهای تولیدی با فشار بالا، این تأخیر مانند یک ابدیت به نظر میرسد.
در همین جاست که لامپهای مادون قرمز وارد صحنه میشوند. به جای گرم کردن کل فضا، این لامپها انرژی را مستقیماً به سمت سطح مورد نظر ارسال میکنند.
این روش کاملاً متفاوت است.
وقتی از فرهای معمولی به لامپهای مادون قرمز روی میآورید، دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن کل فضا باشید؛ بلکه میتوانید مستقیماً روی سطح مورد نظر کار کنید. این لامپها در عرض چند ثانیه به دمای کاری خود میرسند. دیگر نیازی نیست منتظر پایان دوره گرمش باشید. برای تیم شما، این بدان معناست که زمان لازم برای پردازش هر ویفر کاهش مییابد.
اما یک مشکل وجود دارد: از آنجایی که این لامپها انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند، گرمای زیادی نیز ایجاد میشود. نمیتوانید این لامپها را در فضایی قرار دهید که برای هوای خنک طراحی شده است؛ بلکه باید اطمینان حاصل کنید که سیستمهای تهویه و تخلیه هوا بتوانند این گرمای اضافی را مدیریت کنند. در غیر این صورت، فقط یک مشکل را با مشکل دیگری جایگزین کردهاید.
همچنین، مسئله تمیزی نیز وجود دارد. فنها در واقع باعث پراکندن گرد و غبار میشوند؛ که این چیزی نیست که در یک اتاق تمیز بخواهیم. لامپهای مادون قرمز هوا را حرکت نمیدهند؛ بلکه انرژی را مستقیماً به سمت سطح مورد نظر ارسال میکنند. این روش ساکت و تمیز است.
ما بزرگترین مزایای این روش را در مراحل خشک کردن و حذف گازهای اضافی مشاهده کردهایم. به جای انتظار برای سیر شدن فضای داخل فر، لامپهای مادون قرمز مستقیماً روی ماده کار میکنند. این روش سریع و مؤثر است. برای هر تأسیساتی که میخواهد تعداد بیشتری ویفر را بدون کاهش کیفیت پردازش کند، این روش معمولاً اولین تغییری است که انجام میشود.