در کارخانههای تولید، میدانیم که حتی تغییر دما در محدوده ۱ درجه سانتیگراد در هنگام فرآیندهای نرمسازی فوتورزیست یا خشک کردن ویفر، میتواند باعث اختلال در ابعاد حیاتی قطعات شود و منجر به کاهش بازدهی تولید شود. به همین دلیل، سوکتهای لامپهای مادونقرمز موجود در دستگاههای مربوط به ویفر، طوری طراحی شدهاند که از اشتباهات ناشی از تغییرات دما جلوگیری کنند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از فرستندههای مادونقرمز موج کوتاه همراه با سوکتهای کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کار باعث گرمایش سریع و متمرکز در ناحیه مورد نظر میشود. یکنواختی دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است، و تکرارپذیری دما نیز در هر چرخه در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد باقی میماند. این طراحی، هیچ ذرهای در حین کار تولید نمیکند و همچنین با استانداردهای اتاقهای پاک سازگار است. تأمین انرژی نیز پایدار است؛ ولتاژ و شدت تابش نیز یکنواخت است، بنابراین پروفایل حرارتی یکسانی در تمام دستگاهها وجود دارد.
چرا این روش در فرآیندهای لیتوگرافی و فرآیندهای دیگر مفید است؟
در لیتوگرافی، فرآیند نرمسازی فوتورزیست باعث حذف حلالها و بهبود چسبندگی فوتورزیست میشود؛ در حالی که فرآیند سختسازی، الگوهای مورد نظر را قبل از فرآیند حکاکی ثابت میکند. سوکتهای مادونقرمز ما، هر دو فرآیند را تثبیت میکنند؛ در نتیجه، نوسانات عرض خطوط کاهش یافته و مشکلات مربوط به لبههای قطعات نیز از بین میرود. در فرآیندهای تمیزکاری و خشک کردن ویفر، گرمایش سریع باعث کاهش زمان فرآیند میشود؛ در نتیجه، مصرف انرژی و زمان لازم برای تولید کاهش مییابد. نتیجه این کار، بازدهی بالاتر، کاهش تعداد محصولات ناموفق، و نتایج قابل اطمینان در هر ایستگاه تولید است.
نکاتی که از مشکلات شما جلوگیری میکنند:
نصب این دستگاهها مستلزم هماهنگی دقیق بین لامپ، سوکت و بازتابندهها است تا یکنواختی دما حفظ شود. قبل از شروع فرآیند، باید اتصالات حرارتی و مسیرهای خنککنندگی را بررسی کرد؛ همچنین باید مطمئن شد که ماده سوکت با شیمی حلالهای موجود در فوتورزیست سازگار باشد. برای حفظ یکنواختی پروفایل حرارتی در طول فرآیندهای طولانی، باید لامپها را به طور منظم تعویض کرد.