در فرآیند لیتوگرافی، مرحله PEB جایی است که عرض خطوط چاپی تعیین میشود. اگر دما را ۰٫۵ درجه سانتیگراد تغییر دهید، نتیجه آن ایجاد اختلافاتی در کیفیت چاپ خواهد بود؛ این اختلافات ممکن است هفتهها باعث مشکلاتی شوند. ما این هیتر را طوری طراحی کردهایم تا این مشکلات را از بین ببرد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
هسته این دستگاه، مجموعهای از منابع انتشار امواج کوتاه کوارتز-هالوژن است که با سیستم کنترل حلقه بسته همراه شدهاند. در ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری، یکنواختی دمایی در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. تکرارپذیری فرآیند نیز در محدوده ±۰٫۲ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین پروفایل فعالسازی فوتورزیست نیز تغییر نمیکند. مواد ساختاری این دستگاه برای محیطهای استریل کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند؛ همچنین، طراحی هیتر باعث کاهش تلاطمات میشود و در نتیجه تولید ذرات در حین فرآیند چاپ صفر میماند. دمای پایدار این دستگاه بین ۹۰ تا ۱۵۰ درجه سانتیگراد است؛ نرخ افزایش دما نیز تا ۱۰ درجه سانتیگراد در ثانیه است. همچنین، طراحی این دستگاه باعث میشود که نقاط داغی در سطح ویفر ایجاد نشود.
مشکل اصلی این است که خطای دمایی در مرحله PEB مستقیماً منجر به خطا در کیفیت چاپ و کاهش بازدهی میشود. با استفاده از این هیتر، فرآیندهای چاپ به درستی انجام میشوند، نه طبق تصمیمات دستگاه. در نتیجه، ویفرهای با کیفیت کمتری تولید نمیشود؛ توزیع یکنواخت مواد در لایههای مختلف بهتر خواهد بود و فرآیندهای تأیید کیفیت نیز سریعتر انجام میشوند.
همچنین، از نظر انرژی نیز صرفهجویی میشود؛ زیرا منبع انتشار امواج کوتاه، فقط هدف را گرم میکند، نه محیط اطراف آن. جرم حرارتی پایین این دستگاه نیز باعث کاهش زمان لازم برای گرم شدن ویفر میشود. همچنین، این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ صیانت از آن نیز قابل برنامهریزی است.
چه چیزهایی برای راهاندازی این دستگاه لازم است؟
این هیتر با رابطهای استاندارد FOUP و SEMI کار میکند؛ اما برای کارکرد صحیح، به یک خط کنترل ۲۴ ولتی و هوای تمیز و خشک نیاز دارد. هنگام نصب، حدود ۳۰ دقیقه برای تنظیمات لازم و بررسی یکنواختی دما صرف کنید. پس از آن، هر روز یک بار یکنواختی دما را با استفاده از ویفرهای تنظیمشده بررسی کنید.
اگر در محیطی با رطوبت بالا کار میکنید، حتماً میزان جریان هوای مورد استفاده برای پاکسازی را بررسی کنید؛ در غیر این صورت، رطوبت میتواند مسیر امواج مادون قرمز را مختل کرده و باعث ایجاد خطاهای کوچک در کیفیت چاپ شود.