בחדר הייצור, סימן אחד של מים יכול לפגוע באיכות המוצר לאחר תהליך הליתוגרפיה. הייבוש הרגיל גורם לשינויים בטמפרטורה, והחלקיקים עלולים להגיע לפני השכבה הדקה שעל הגביש. יצרנו מנורות ייבוש באמצעות מים מדוידנים, כדי למנוע שינויים אלו. קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים חודרת במהירות את שכבת המים, ומחממת את הפנים שלה, מבלי לפגוע בשכבת הפוטורזיסט. כך ניתן לייבש את הגבישים בצורה יעילה, ולשמור על טמפרטורה קבועה במהלך תהליך הייבוש.
מה חשוב בתהליך הייבוש? קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים חודרת במהירות את שכבת המים. הגאומטריה של המנורה מוודאת שהחום נשאר במקום הנכון. כך ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של הגבישים ברמה של ±0.1°C, וניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה עקבית. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100. האזור המחומם אינו יוצר שום חלקיקים, ואין סכנה שהאוויר יזהם את שכבת הפוטורזיסט. צפיפות האנרגיה מותאמת כך שתאפשר אידוי של המים, מבלי לפגוע בטמפרטורה של שכבת הפוטורזיסט. הפלט של המנורה נשאר יציב כל הזמן, וניתן להשתמש במנורות אלו במשך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5%.
למה זה חשוב בייצור? המנורה מחליפה את שיטות הייבוש האיטיות יותר, כמו שימוש במגשים חמים. כך הגבישים מתייבשים מהר יותר, וזווית המגע נשארת קבועה. פרופילי שכבת הפוטורזיסט נשארים עקביים מראשית הייצור ועד סופו. התוצאה היא פחות עבודות תיקון, פחות פסולת, ושליטה טובה יותר בממדים החשובים של הגבישים. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמנורה מחממת את המים ואת הגבישים, ולא את האוויר סביבם. תקופות ההחלפה של המנורה ארוכות יותר, וזמן התחזוקה קצר יותר, בזכות העיצוב שמונע שימוש בחלקים מתקפלים ובמסה תרמית גדולה.
על מה צריך לשים לב? בעת ההתקנה, חשוב לוודא שהמנורה מתאימה לגודל הפתח של הכלי, למקור האנרגיה ולמערכת הקירור. יש לבדוק את המתח ואת תאימות החיבורים, ולוודא שהפרופיל התרמי של המנורה תואם את ההגדרות הקיימות. המנורה תפעל בצורה הטובה ביותר כאשר הכימיה של פני הגביש נמצאת תחת שליטה. חומרים שונים על פני הגביש עלולים לשנות את תהליך הייבוש, לכן יש לשלוט בהם מראש.