वेफरों को गर्म करते समय ऊष्मा एवं अस्थिरता से निपटना
जब आप रासायनिक सफाई प्रक्रिया में वेफरों को गर्म करते हैं, तो आप केवल तापमान को नियंत्रित करने ही का प्रयास नहीं कर रहे हैं… वास्तव में आप जोखिमों को भी नियंत्रित कर रहे हैं।
ईमानदारी से कहें तो, ऐसे कई रासायनिक पदार्थ ज्वलनशील होते हैं… कुछ तो बिल्कुल ही विस्फोटक होते हैं। यदि आप ऐसे वाष्पों के ठीक बगल में इन्फ्रारेड लैंप रख दें, तो यह वास्तव में आग लगने का कारण बन सकता है। इसी कारण हमने खुले वातावरण में उपयोग होने वाले लैंपों का उपयोग बंद कर दिया, एवं एनकैप्सुलेटेड इन्फ्रारेड सिस्टमों का उपयोग शुरू कर दिया। यही सबसे उचित विकल्प है।
सुरक्षा दूरी का महत्व
सुरक्षा दूरी कोई यादृच्छिक संख्या नहीं है… यह वह दूरी है जिससे हम यह सुनिश्चित कर सकते हैं कि लैंप के आसपास का वातावरण पर्याप्त रूप से ठंडा रहे… ताकि रासायनिक पदार्थ आग न लगाएं। हम यह दूरी लैंप की वॉटेज एवं उसके आसपास के वातावरण की गर्मी-सहन क्षमता के आधार पर निर्धारित करते हैं।
समस्या यह है कि यदि लैंप को वेफर या चेंबर की दीवार के बहुत पास रखा जाए, तो आसपास का वातावरण बहुत गर्म हो जाता है… ऐसी स्थिति में अस्थिर वाष्प वास्तविक खतरा बन जाती हैं। इसलिए आपको पर्याप्त जगह आवश्यक है… ताकि हवा का प्रवाह हो सके, एवं गर्मी दूर हो सके।
हम चीजों को क्यों सील करते हैं?
हम वेफरों को ऐसे ही खुले वातावरण में नहीं रखते… हमारे लैंप एक सीलबंद, रासायनिक-प्रतिरोधी कवर में ही रखे जाते हैं।
इसे गर्मी-स्रोत एवं हानिकारक रासायनिक पदार्थों के बीच एक भौतिक बाधा के रूप में ही समझें। हम उच्च-गुणवत्ता वाले सीलों का उपयोग करते हैं… क्योंकि यदि कोई रासायनिक पदार्थ कवर में घुस जाए, तो यह बहुत ही खतरनाक होगा।
तोड़-फोड़ का जोखिम
लेकिन इसका एक नुकसान भी है… इन्फ्रारेड स्रोत एवं वेफर के बीच बाधा रखने से थोड़ी ऊर्जा बर्बाद हो जाती है… लेकिन यह बहुत बड़ी बात नहीं है।
इसकी भरपाई के लिए आपको लैंप की वॉटेज बढ़ानी होगी… या वेफर को थोड़ी देर तक वहीं रखना होगा… ताकि वांछित तापमान प्राप्त हो सके। बस यह सुनिश्चित करें कि आपका पावर सप्लाई इस अतिरिक्त भार को संभाल सके… यह तो एक छोटी कीमत है… ताकि आपकी प्रयोगशाला में आग न लगे।