फैब्रिकेशन फ्लोर पर, आपको पता ही होगा कि फोटोरेजिस्ट को नरम करने या वेफर को सुखाने की प्रक्रिया में 1°C का भी अंतर, महत्वपूर्ण आयामों पर प्रभाव डाल सकता है, जिससे उत्पादन में कमी आ सकती है। इसीलिए, वेफर टूलों में उपयोग होने वाले इन्फ्रारेड लैंपों की डिज़ाइन ऐसी होती है कि थर्मल प्रक्रियाओं में कोई अनिश्चितता न रहे।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जिनके साथ उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज सॉकेट भी होते हैं। इससे त्वरित एवं सटीक तापन संभव होता है। वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं प्रत्येक चक्र में तापमान की स्थिरता ±0.5°C ही रहती है। इस डिज़ाइन के कारण प्रक्रिया के दौरान कोई कण नहीं उत्पन्न होता, एवं यह क्लास 1 से लेकर क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है। वोल्टेज में कोई उतार-चढ़ाव नहीं होता, एवं विकिरण की मात्रा भी स्थिर रहती है… इससे प्रत्येक टूल/शिफ्ट में एक ही तरह का थर्मल प्रोफ़ाइल प्राप्त होता है।
लिथोग्राफी एवं अन्य प्रक्रियाओं में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से विलायकों को हटाया जाता है, जबकि “हार्ड बेक” प्रक्रिया से पैटर्न को स्थिर रखा जाता है। हमारे इन्फ्रारेड सॉकेट इन दोनों प्रक्रियाओं को स्थिर रखने में मदद करते हैं… इससे लाइन-विड्थ में कोई असमानता नहीं रहती, एवं किनारों पर कोई समस्या भी नहीं आती। वेफर की सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में, त्वरित तापन से प्रक्रिया जल्दी ही पूरी हो जाती है… इससे ऊर्जा की खपत एवं प्रक्रिया समय में कमी आती है। परिणामस्वरूप उत्पादन दर बढ़ जाती है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं हर बार वांछित परिणाम ही प्राप्त होते हैं।
ऐसी विशेषताएँ जो आपको परेशानियों से बचाती हैं…
लैंप, सॉकेट एवं रिफ्लेक्टर के बीच सटीक संरेखण ही आवश्यक है… ताकि तापमान की एकरूपता बनी रहे। प्रक्रिया शुरू करने से पहले, थर्मल कपलिंग एवं कूलिंग प्रणालियों की जाँच अवश्य करें… साथ ही, सॉकेट की सामग्री का फोटोरेजिस्ट में मौजूद विलायकों के साथ संयोजन भी ठीक होना आवश्यक है। लंबी अवधि तक विकिरण की मात्रा एवं थर्मल प्रोफ़ाइल को स्थिर रखने हेतु, लैंपों को नियमित रूप से बदलना आवश्यक है।