汚れを起こさずにウェーハを乾燥させる方法
もし、クラス100の清浄室を運営しているなら、粒子が飛び散ってしまうという悩みはよく知っているでしょう。安価なヒーターから出る微小な破片や、品質の低いランプから出るガスだけで、ウェーハが破損してしまいます。その結果、生産効率が低下し、大変な事態になります。
だからこそ、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。これにより、常に清潔な状態を保つことができます。
なぜ石英が適しているのか
私たちが使用しているのは融成シリカ製の石英です。温度が急に変化しても壊れないからです。熱膨張率が非常に低いため、急に加熱したり冷却したりしても割れることはありません。
さらに、高温になっても揮発性有機化合物を放出しない点も利点です。純粋な赤外線が得られ、基板に化学物質が付着する心配もありません。
清浄室向けに設計されている
これらのランプは密封構造になっており、多孔質な素材やほこりが溜まりやすい場所はありません。表面はガラスのように滑らかで、粒子が付着する場所もありません。
また、配線にも細心の注意を払っています。通常、接続部分が問題の発生源になります。金属片がそこに入り込んでしまうからです。私たちは専用の端子を使用して、その問題を解決しています。
注意すべき点
正直に言うと、高純度の石英はもろいです。熱には強いですが、衝撃には弱いのです。激しい振動がある場合は、緩衝機能付きの取り付けブラケットを使用する必要があります。また、ランプをハウジングに厳密に固定しすぎないようにしてください。膨張するための余裕が必要です。そうしないと、ランプが壊れてしまいます。
作業効率向上のメリット
短波長の赤外線を使用しているため、直接表面を加熱できます。周囲の空気を温めるためのエネルギーの無駄がありません。
これにより、HVACやフィルタリングシステムへの負担が軽減されます。立ち上がり時間も短縮され、乾燥ステーションのスペースも大幅に節約できます。全体として、作業がよりスムーズに進みます。