なぜIRシステムにおいてPTFEケーブルが不可欠なのか
「スマートファブ」を構築しようとする場合、多くの時間をソフトウェアの設計に費やすことになります。しかし、ハードウェアが溶けてしまっては、どんなに優れたコードであっても意味がありません。
半導体の加熱処理を行う際、一般的なPVCケーブルはほとんど役に立ちません。赤外線ランプが正常に動作する前に、そのケーブルは既に溶けてしまいます。だからこそ、私たちはPTFE（テフロン）コーティングされたケーブルを使用するのです。
高温に対処するために
PTFEを使用するのは、それが耐熱性に優れているからです。絶え間ない高温にさらされても、割れたり、異常なガスを放出したりすることはありません。クリーンルームでは、これは非常に重要です。わずかな化学反応でもウエハーがダメになってしまう可能性があり、上司にその理由を説明するのは面倒です。
また、狭い加熱室内での短絡を防ぐのにも優れています。システムが何千回も加熱・冷却を繰り返しても、ケーブルは柔軟性を保ち続けます。硬くなることはありません。
ノイズの排除
デジタル製造ではリアルタイムのデータが重要です。しかし、高出力の赤外線ランプのすぐ近くにセンサーを置くと、電気的ノイズが発生します。これは大変な問題です。
これを解決するために、シールド付きのPTFEケーブルを使用します。これにより、サーモカップルからの信号が乱れないようになり、PLCが正確な情報を得られます。シールドがなければ、「ゴーストデータ」という不正確なデータが得られ、それが原因でウエハーがダメになってしまいます。
注意点
もちろん、PTFEも完璧ではありません。耐熱性には優れていますが、シリコンよりは硬いです。
もし設計に急な曲がり角や動く部品がある場合は、曲げ半径に注意する必要があります。太めのテフロンケーブルを急な曲がり角に無理やり通すと、ランプの端子部分のはんだ接合部が壊れてしまう可能性があります。ですから、ケーブルに十分な余裕を与える必要があります。
工場内での正しい取り扱い
レイアウトを計画する際には、ケーブルが十分な電流に耐えられるかを確認してください。高出力の短波赤外線ランプは大量の電流を消費します。もしケーブルの太さが不十分だと、電圧降下が起きます。適切な太さのケーブルを使用し、PTFEを使えば、基板上の温度が一定に保たれます。これだけです。