안전을 위한 조치: 화학 세척 과정에서의 적외선 히터 사용
반도체 세척 작업을 할 때는, 사실상 휘발성 용매와 인화성 기체들과 함께 작업하는 셈입니다. 조금만 실수해도 큰 문제가 생길 수 있습니다. 정말 스트레스가 많은 작업이죠.
그래서 우리는 단순히 히터를 만드는 것이 아니라, 어떤 상황에서도 안전하게 작동할 수 있도록 설계합니다.
보호 코팅
우리는 석영관을 그대로 두지 않습니다. 그러면 문제가 생길 수밖에 없습니다. 대신, 모든 부분을 견고하게 밀폐하여 인화성 가스가 뜨거운 필라멘트나 전기 단자에 닿지 않도록 합니다.
세척 제품의 성질에 따라, 고순도 석영이나 내구성이 뛰어난 세라믹 복합재로 만든 보호 코팅을 사용합니다. 이것은 마치 방패와 같은 역할을 합니다. 만약 화학물질이 유출된다 해도, 액체는 보호 코팅에 부딪히고, 직접 전기 회로에는 닿지 않습니다. 이런 간단한 방법으로 재난을 예방할 수 있습니다.
압력 속에서도 온도를 안정적으로 유지하기
온도가 급격히 변하지 않도록, 우리는 온도 센서를 히터 속에 직접 설치합니다. 이 센서들은 실시간으로 열 흐름을 감지합니다.
이러한 센서들에는 광물 절연 케이블을 사용합니다. 일반 전선은 그러한 유독 가스에 노출되면 타거나 부식됩니다. 따라서 PID 제어 시스템을 신뢰할 수 있습니다. 웨이퍼의 온도를 안정적으로 유지할 수 있으며, 상황이 통제 불능이 되는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
장단점
솔직히 말해서, 보호 코팅을 추가하면 약간의 열 손실이 발생합니다. 그래서 평범한 램프에 비해 직접적인 열 방출량이 줄어듭니다.
이를 보완하기 위해, 우리는 히터의 출력을 높입니다. 그렇게 하면 여전히 목표 온도를 유지할 수 있습니다. 다만, 하우징 주변의 열을 처리할 수 있는 배기 시스템이 필요합니다.
우리는 이러한 장비들이 어떤 환경에서도 견딜 수 있도록 설계합니다. 적절히 접지된, 방폭 기능이 있는 컨트롤러와 함께 사용한다면, 유독 가스가 많은 환경에서도 안심할 수 있습니다.