반도체 제조 공정에서 발생하는 과열 문제를 해결해 보세요.
일반적인 적외선 램프의 문제점은 열이 모든 방향으로 발산된다는 것입니다. 좁은 반도체 제조 공간에서는 이러한 상황이 재앙을 초래할 수 있습니다. 그렇게 발생한 열이 내벽에 닿아 과열된 부분이 생기고, 그로 인해 기계가 손상되거나 심지어 작업자가 화상을 입을 수도 있습니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾았습니다. 바로 금으로 코팅된 램프를 사용하는 것입니다.
왜 금일까요?
겉보기에는 복잡해 보이지만, 사실은 아주 간단합니다. 석영 커버의 뒷부분에 얇은 금 층을 코팅하는 것입니다. 금은 적외선을 반사하는 역할을 합니다. 따라서 열이 기계 내부로 퍼지는 것을 막고, 대신 웨이퍼 쪽으로 다시 반사됩니다. 이를 통해 램프는 일반적인 가열 장치가 아닌 정밀한 도구가 됩니다. 목표물에 더 강력한 열을 전달할 수 있으면서도 기계 내부가 과열되는 것을 방지할 수 있습니다.
알아야 할 단점들
물론 단점도 있습니다. 에너지가 집중되기 때문에 작업물의 온도가 상승합니다. 따라서 PID 컨트롤러를 신중하게 조절해야 합니다. 정확하지 않으면 목표 온도를 넘어설 수도 있습니다. 급격한 가열 및 냉각으로 인한 스트레스를 견디기 위해, 우리는 고순도 석영을 사용하여 램프를 만듭니다. 또한 기계가 진동해도 램프가 위치를 유지하도록 특별히 설계되었습니다.
설치 시 주의사항
가장 좋은 점은, 그 크고 무거운 방열 장치나 대형 냉각 팬을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 이로 인해 기계 내부의 구조가 훨씬 깔끔해집니다.
한 가지 팁은, 램프를 연결할 때 금으로 코팅된 면이 플라스틱 부품이나 전선과 멀어지도록 해야 한다는 것입니다.
그리고 기존 시스템에 이 램프를 설치할 경우, 전원 공급 장치를 반드시 확인해야 합니다. 목표 영역에 더 강력한 열이 가해지므로, 가열 속도를 줄여야 할 수도 있습니다. 서두르다가 기판이 손상되는 것을 원하지 않을 것입니다.