Перестаньте ждать, пока разогреется духовка: почему инфракрасные лампы выгоднее обычных для полупроводниковой обработки
Если вы когда-либо работали в лаборатории по производству полупроводников, то знаете, какой это раздражающий процесс — ждать, пока нагреется воздух в помещении. Это медленный процесс. С использованием систем принудительной циркуляции воздуха приходится сначала нагревать воздух, затем саму камеру, а уже потом — и сам материал. Этот процесс занимает много времени, а в условиях высокого давления это кажется вечностью.
Вот здесь-то и пригождаются инфракрасные лампы. Вместо того чтобы нагревать всю комнату, они направляют энергию прямо на поверхность материала.
Это совершенно другой подход. Когда вы переходите с использования обычных духовок на инфракрасные лампы, вы перестаете обращать внимание на весь объем воздуха в помещении, а сосредотачиваетесь на поверхности материала. Эти лампы достигают рабочей температуры за считанные секунды. Не нужно больше ждать, пока закончится процесс нагрева. Для вашей команды это означает сокращение времени, необходимого для обработки каждой пластины. Вы можете ускорить процесс обработки, сократить время её нахождения в камере и значительно повысить эффективность работы.
Но есть один недостаток. Поскольку эти лампы генерируют большое количество тепла в небольшом пространстве, необходимо убедиться, что система вентиляции способна справиться с этой нагрузкой. Иначе вы просто замените одну проблему на другую.
Еще один фактор — чистота. Вентиляторы, по сути, способствуют распространению пыли. А это последнее, что нужно в чистой комнате. Инфракрасные лампы не перемещают воздух; они создают статичное тепло. Это позволяет сохранять чистоту.
Наибольшую пользу от использования инфракрасных ламп можно видеть на этапах зажигания, сушки и дегазации. Вместо того чтобы ждать, пока камера „нагреется“, инфракрасная лампа мгновенно воздействует на материал. Это быстро и эффективно. Для любого предприятия, которое хочет увеличить количество обрабатываемых пластин без снижения качества, это обычно первое изменение, которое они внедряют.