На этапе литографии процесс PEB позволяет точно контролировать ширину линий на пластине. Если изменить температуру на 0,5°C, это приведет к появлению ошибок в параметрах обработки пластины, с которыми придется бороться в течение недель. Мы разработали специальный нагреватель для устранения этих ошибок.
Что имеет значение внутри устройства
В основе устройства лежит массив кварцевых галогенных излучателей коротковолнового диапазона, работающих в сочетании с системой замкнутого управления. На пластине размером 300 мм температурное равномерие сохраняется в пределах ±0,1°C. Повторяемость результатов при обработке разных партий пластин также остается в пределах ±0,2°C, что гарантирует стабильность параметров активации фоторезиста. Материалы, из которых сделано устройство, соответствуют стандартам чистых комнат класса 1–100. Геометрия нагревателя минимизирует возникновение турбуленций, что позволяет исключить образование частиц во время нагрева. Устройство обеспечивает стабильные значения температуры в диапазоне от 90°C до 150°C; скорость повышения температуры достигает 10°C/с. Кроме того, конструкция устройства предотвращает возникновение «горячих точек» на поверхности пластины.
Ошибка температуры в процессе PEB напрямую влияет на качество обработки пластины и снижает ее производительность. Благодаря этому нагревателю процессы мягкого и жесткого нагрева проходят согласно заложенным параметрам, а не в зависимости от решений самого устройства. Это позволяет сократить количество бракованных пластин, улучшить качество обработки критически важных слоев и ускорить процесс проверки качества.
Кроме того, устройство позволяет экономить энергию, поскольку источник тепла нагревает только саму пластину, а не окружающую среду. Низкая тепловая масса устройства сокращает время перехода от состояния покоя к состоянию нагрева. Устройство предназначено для круглосуточной работы; его обслуживание можно планировать заранее.
Что необходимо для работы устройства
Устройство работает с стандартными интерфейсами FOUP и SEMI. Однако для его работы требуется отдельная линия управления с напряжением 24 В, а также чистый сухой воздух для эффективного очищения помещения. При установке необходимо выделить 30 минут на настройку и проверку температурного равномерия. После этого необходимо ежедневно проверять равномерность температуры с использованием калиброванной пластины.
Если вы находитесь в помещении с высокой влажностью, необходимо убедиться в правильности параметров вентиляции. В противном случае конденсат может нарушить работу инфракрасного излучения, что приведет к появлению небольших, но постоянных отклонений в параметрах обработки.