На виробничій лінії одна лише крапля води може зіпсувати весь продукт після процедури літографії. У звичайних умовах температура під час сушіння коливається, а частинки з гарячих поверхонь потрапляють прямо в плівку. Ми створили лампи для сушіння дезіонізованою водою, які дозволяють уникнути таких коливань. Короткочастотне інфрачервоне випромінювання швидко нагріває поверхню води, не перевищуючи при цьому температуру фотополімеру. Це дозволяє чисто висушувати пластини та підтримувати стабільні умови під час обробки.
Що є важливим у цьому процесі
Короткочастотне інфрачервоне випромінювання швидко проникає крізь шар води. Кварцова оболонка та геометрія відбивача забезпечують правильне розподілення тепла. Таким чином досягається однорідність температури на всій поверхні пластини – до ±0,1°C. Система може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100. Зона нагріву не створює жодних частинок, і не відбувається викидів газів, які могли б забруднити фотополімер. Частота енергопостачання налаштовується так, щоб процес випаровування відбувався без перевищення температурних лімітів фотополімеру. Рівень виводу енергії залишається стабільним протягом усього часу роботи; ми спостерігали, що лампи можуть працювати понад 5 000 годин зі зниженням ефективності менше ніж на 5%.
Чому це корисно на виробництві
Ця система замінює більш повільні процедури сушіння та використання гарячих плат. Пластини сушаться швидше, а кут контакту залишається стабільним. Профілі фотополімеру залишаються стабільними з одного циклу обробки до іншого. Це дозволяє зменшити кількість повторних обробок, скоротити кількість відходів та забезпечити стабільний контроль критичних розмірів. Використання енергії зменшується, оскільки нагрівається сама вода та пластина, а не повітря навколо них. Час заміни лампи подовжується, а час технічного обслуговування скорочується завдяки конструкції, яка уникає використання рухомих частин та великих теплових мас.
На що слід звернути увагу
Під час встановлення необхідно пристосувати лампу до апертури обладнання, джерела живлення та системи охолодження. Необхідно перевірити сумісність напруги та роз’ємів, а також переконатися, що температурний профіль лампи відповідає вашим вимогам. Лампа працює найкраще, коли хімічний склад поверхні пластини контролюється. Дрібні кількості поверхнево-активних речовин можуть вплинути на процес сушіння, тож їх необхідно контролювати на ранніх етапах.