На столі для літографії етап PEB дозволяє точно встановити ширину ліній на пластині. Якщо змінити температуру на 0,5°C, то це призведе до появи несправностей, які буде потрібно усувати протягом кількох тижнів. Ми створили цей нагрівач для того, щоб усунути цю проблему.
Що є важливим у цьому пристрої
Основою пристрою є матриця кварцових галогенних випромінювачів коротких хвиль, поєднана з системою контролю з закритим циклом. На пластині розміром 300 мм температурна однорідність зберігається в межах ±0,1°C. Повторюваність результатів між різними партіями також залишається в межах ±0,2°C, тож профіль активації фотополімеру не змінюється. Матеріали камери відповідають стандартам класу 1–100, а геометрія нагрівача запобігає виникненню турбулентності, що дозволяє уникнути утворення частинок під час нагрівання. Стабільні значення температури можна досягти в діапазоні від 90°C до 150°C; швидкість зміни температури становить до 10°C/с. Крім того, конструкція пристрою запобігає утворенню „гарячих точок“ на поверхні пластини.
Які наслідки неправильної температури
Помилки в температурі PEB безпосередньо впливають на якість продукту та призводять до втрати врожайності. Завдяки цьому нагрівачу процес нагрівання відбувається саме так, як передбачено, а не так, як вирішує сам пристрій. Це дозволяє скоротити кількість відходів, покращити однорідність параметрів на критичних шарах та прискорити процес перевірки якості.
Крім того, економиться енергія – джерело коротких хвиль нагріває саме об’єкт нагрівання, а не навколишнє середовище. Низька теплова маса також скорочує час переходу від стану спокою до стану нагрівання. Пристрій призначений для постійної роботи 24/7, а його обслуговування можна планувати заздалегідь.
Що потрібно для роботи пристрою
Нагрівач працює зі стандартними інтерфейсами FOUP та SEMI. Однак йому потрібна окрема лінія живлення напругою 24 В, а також чисте сухе повітря для ефективного очищення камери. Під час встановлення необхідно виділити 30 хвилин на налаштування та перевірку температурної однорідності. Після цього щодня необхідно проводити перевірку однорідності за допомогою каліброваної пластини.
Якщо ви знаходитеся в приміщенні з високою вологістю, необхідно перевірити швидкість потоку повітря. Інакше конденсат може порушити процес передачі інфрачервоного випромінювання та спричинити незначні похибки.