На виробничому майданчику термічні відхилення під час процедури висушування пластин не є якоюсь абстрактною проблемою – вони проявляються у реальних дефектах та зниженні якості продукції. Коли печ або платформа для нагріву не можуть підтримувати температуру в заданих межах, контроль товщини шару на пластині стає складним, зростає кількість частинок, які потрапляють на поверхню пластини. Ми спроєктували наші інфрачервоні нагрівачі так, щоб усунути ці відхилення, адже у процесі обробки напівпровідників температурний режим є дуже важливим, а точність є єдиним прийнятним параметром.
Що є важливим з технічної точки зору
Наші інфрачервоні нагрівачі забезпечують температурну однорідність на рівні ±0,1°C, тож процеси висушування залишаються стабільними. Швидка реакція нагрівачів допомагає уникнути перепадів температури під час відкриття кришки чи зміни партій продукції. Дизайн нагрівачів дозволяє уникнути утворення частинок, а також дозволяє використовувати приміщення класу чистоти 1–100 без проблем. Ефективність нагрівачів залишається стабільною протягом 5 000+ годин, з втратою менше 5%, тож можна планувати технічне обслуговування заздалегідь, а не реагувати на неочікувані перерви в роботі.
Чому це ефективно у літографії та процесі висушування
У літографії процес висушування впливає на процес випаровування розчинників та напругу в плівці; навіть незначні відхилення можуть вплинути на характеристики продукції. Під час висушування пластин залишкова волога може призвести до утворення мікромостів та забруднень. Наш підхід допомагає усунути ці проблеми, покращуючи точність процесу та його повторюваність. Це дозволяє контролювати розміри елементів пластини з більшою точністю, зменшити кількість необхідних корекцій та знизити витрати енергії на одну пластину – адже енергія йде безпосередньо на підкладку, а не на нагрів приміщення.
Що потрібно зробити правильно
Під час встановлення необхідно підібрати довжину хвилі випромінювання та щільність потужності нагрівачів відповідно до геометрії відбивача обладнання та системи контролю температури. Підключення нагрівачів до існуючого обладнання є простим, але стратегія керування мусить бути належною – контроль інтенсивності випромінювання не може замінити контроль температури.Необхідно провести короткий тестовий запуск для налаштування параметрів та перевірки однорідності температури по всій поверхні пластини перед початком повноцінного виробництва.