Зменшення викидів вуглецю у інструментах для обробки пластин за допомогою інфрачервоного нагрівання
Зараз всі говорять про „зелені заводи“. Це важлива тенденція у будівництві заводів з виробництва напівпровідників. Один із найпростіших способів зменшити кількість викидів вуглецю – це припинити використання опорних нагрівачів та почати використовувати інфрачервоні лампи.
Ось чому це важливо.
Опорні нагрівачі є досить неефективними. Вони витрачають велику кількість енергії на нагрівання стінок камери, перш ніж пластина взагалі почне нагріватися. Це марна трата ресурсів.
Інфрачервоні лампи працюють інакше. Вони посилають електромагнітне випромінювання прямо на поверхню пластини. Це дозволяє досягти потрібної температури значно швидше. Коли час нагрівання скорочується, інструмент менше часу споживає енергію з мережі.
Ще є проблема накопичення тепла. При використанні короткохвильових інфрачервоних ламп досягається висока щільність тепла. Це дозволяє проводити процеси швидкого термічного оброблення, не перетворюючи решту механічних елементів інструменту на „піч“.
Саме тут полягає секрет економії ресурсів. Оскільки рама інструменту залишається прохолодною, холодильники не musí працювати так інтенсивно, щоб підтримувати стабільну температуру. Менше роботи для холодильників означає менше кіловат-годин, які спалюються на одну пластину. Це справжній приріст ефективності.
Але все не так ідеально. Перехід на інфрачервоні лампи супроводжується певними труднощами. Ці лампи випромінюють велику кількість тепла. Якщо датчики функціонують некоректно, можуть виникнути „гарячі точки“, які можуть пошкодити пластини. Потрібно використовувати пірометри, які можуть правильно вимірювати емісію конкретного матеріалу.
Крім того, ці лампи не є безтривалими у використанні. Їх доводиться замінювати частіше, ніж керамічні нагрівачі. Це просто компроміс.
У кінцевому підсумку все зводиться до „термічної інерції“. Шляхом нагрівання самої пластини, а не всього інструменту, ми уникаємо марної трати енергії. Це практичний спосіб досягнення цілей щодо вуглецевої нейтральності, без зниження продуктивності чи погіршення якості продукції.