Xử lý vấn đề nhiệt độ và tính bất ổn trong quá trình làm nóng wafer
Khi làm nóng wafer trong quy trình làm sạch hóa học, bạn không chỉ cần đạt được nhiệt độ mong muốn mà còn phải kiểm soát các rủi ro liên quan. Thành thật mà nói, nhiều chất tẩy rửa này đều dễ cháy; thậm chí, một số chất còn có tính nổ. Nếu để bóng đèn hồng ngoại hoạt động ngay gần những khí này, rất dễ xảy ra hỏa hoạn. Đó là lý do tại sao chúng tôi ngừng sử dụng bóng đèn thông thường và chuyển sang sử dụng các hệ thống hồng ngoại được bảo vệ kỹ lưỡng. Điều này rất hợp lý.
Khoảng cách an toàn
Khoảng cách an toàn không phải là con số ngẫu nhiên nào đó. Đó là khoảng cách cần thiết để đảm bảo rằng các bộ phận xung quanh – chứ không chỉ bóng đèn本身 – vẫn giữ được nhiệt độ phù hợp, tránh việc chất tẩy rửa bị kích hoạt. Chúng tôi xác định khoảng cách này dựa vào công suất của bóng đèn và khả năng giải tỏa nhiệt của vỏ bọc bảo vệ nó.
Vấn đề là: nếu đặt bóng đèn quá gần wafer hoặc thành buồng, nhiệt độ xung quanh sẽ tăng lên đáng kể. Lúc đó, các khí dễ cháy sẽ trở thành mối nguy hiểm thực sự. Bạn cần có khoảng trống để không khí lưu thông hoặc để hệ thống làm mát hoạt động, từ đó giúp giảm nhiệt độ xuống mức an toàn.
Tại sao chúng tôi phải bảo vệ mọi thứ
Chúng tôi không để ống thủy tinh chứa bóng đèn nằm ngoài môi trường tự do. Các bóng đèn của chúng tôi được đặt bên trong vỏ bọc chống hóa chất. Điều này giống như một “bức tường vật lý” ngăn cách bóng đèn với các chất nguy hiểm trong không khí. Chúng tôi sử dụng các thiết bị niêm phong chất lượng cao, vì nếu chất tẩy rửa rò rỉ vào vỏ bọc, điều đó sẽ gây ra hậu quả nghiêm trọng. Đó không phải là điều tốt chút nào.
Sự đánh đổi
Tuy nhiên, việc tạo ra rào cản giữa nguồn hồng ngoại và wafer cũng khiến chúng ta mất đi một phần năng lượng bức xạ. Mức độ mất năng lượng này không lớn lắm, nhưng vẫn có. Để bù đắp cho điều này, bạn có thể cần tăng công suất bóng đèn hoặc để wafer ở trong buồng lâu hơn một chút để đạt được nhiệt độ mong muốn. Hãy đảm bảo rằng nguồn cung cấp điện có thể đáp ứng được công suất cao hơn này. Đó là cái giá nhỏ để tránh rủi ro hỏa hoạn trong phòng thí nghiệm.