Trong quy trình sản xuất, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ thay đổi 1°C trong quá trình sấy khô wafer hoặc xử lý phim ảnh, thì kích thước của các chi tiết trên wafer cũng sẽ bị ảnh hưởng, dẫn đến giảm hiệu suất sản xuất. Đó là lý do tại sao các bộ phận phát ánh sáng hồng ngoại được thiết kế để loại bỏ yếu tố ngẫu nhiên trong việc kiểm soát nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bộ phát ánh sáng hồng ngoại tia ngắn kết hợp với các bộ phận làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao. Nhờ đó, việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và chính xác, với thời gian phản ứng dưới một giây. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, còn độ chính xác của mức nhiệt độ mong muốn thì ở mức ±0,5°C từ chu kỳ này sang chu kỳ khác. Thiết kế này không tạo ra bất kỳ hạt nào trong quá trình hoạt động, và có thể được sử dụng trong môi trường sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100. Dòng điện cung cấp cho thiết bị rất ổn định, với độ chính xác cao về điện áp và cường độ ánh sáng, giúp duy trì mức nhiệt độ ổn định giữa các thiết bị khác nhau.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn và các ứng dụng khác Trong quy trình in ấn, việc sấy khô wafer giúp loại bỏ chất hòa tan và giúp phim ảnh bám chắc vào bề mặt wafer. Việc nung nóng wafer giúp cố định mô hình cần in trước khi tiến hành quá trình khắc. Các bộ phận phát ánh sáng hồng ngoại giúp ổn định cả hai quá trình này, giúp giảm độ không đồng đều của đường viền và tránh các vấn đề liên quan đến mép wafer. Đối với việc làm sạch và sấy khô wafer, việc gia nhiệt nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, từ đó giảm chi phí năng lượng và thời gian sản xuất. Kết quả là năng suất cao hơn, ít phải làm lại sản phẩm hơn, và chất lượng sản phẩm luôn ổn định ở mọi giai đoạn xử lý.
Những lưu ý quan trọng giúp bạn tránh rắc rối Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo sự đối xứng chính xác giữa bóng đèn, bộ phận phát ánh sáng và phần phản xạ ánh sáng, để đạt được mức độ đồng đều về nhiệt độ. Trước khi sử dụng, cần kiểm tra kỹ lưỡng mối liên kết nhiệt và các con đường dẫn nhiệt, đồng thời đảm bảo rằng vật liệu của bộ phận phát ánh sáng không tương tác xấu với các chất hóa học trong phim ảnh. Nên lên kế hoạch thay thế bóng đèn định kỳ để duy trì mức nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình sản xuất.