Tại sao phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại lại tốt hơn phương pháp sử dụng không khí nóng để sấy các tấm wafer MEMS?
Nếu bạn vẫn sử dụng phương pháp sấy bằng không khí nóng để sấy các tấm wafer MEMS, thì bạn đang lãng phí quá nhiều thời gian chỉ để chờ đợi. Đó là một trở ngại lớn trong quy trình sản xuất.
Phương pháp sấy bằng không khí nóng dựa vào hiện tượng đối lưu nhiệt. Bạn cần làm nóng không khí trước, sau đó mới có thể dùng không khí đó để làm nóng các tấm wafer. Đó là một quy trình phức tạp và chậm chạp.
Ngược lại, phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại hoạt động khác. Nó sử dụng bức xạ điện từ để trực tiếp chiếu vào bề mặt tấm wafer. Không cần qua bất kỳ trung gian nào. Thời gian sấy giảm từ vài phút xuống còn vài giây. Điều này rất hữu ích khi bạn sản xuất với số lượng lớn. Bạn có thể sản xuất nhiều tấm wafer hơn mỗi giờ, mà không cần xây dựng phòng sạch lớn hơn.
Nhưng bạn không thể đơn giản chỉ nhét một bóng đèn hồng ngoại vào lò sấy thông thường là xong được. Để đạt được tốc độ sấy cao như vậy, bạn cần có mật độ năng lượng cao. Chúng tôi thường sử dụng bóng đèn hồng ngoại tia ngắn, vì chúng có thể xuyên qua lớp chất lỏng trên bề mặt tấm wafer một cách nhanh chóng. Tuy nhiên, mức độ bức xạ này có thể gây hại nếu không được kiểm soát cẩn thận. Bạn cần có các thiết bị bảo vệ và các bộ phản xạ năng lượng phù hợp. Nếu không, bạn có nguy cơ làm biến dạng tấm wafer hoặc làm hỏng các cảm biến trên tấm wafer.
Ngoài ra, việc kiểm soát nhiệt độ cũng rất quan trọng. Bóng đèn hồng ngoại có thể đạt đến nhiệt độ cần thiết ngay lập tức. Nếu bộ điều khiển PID hoạt động chậm, nhiệt độ có thể vượt quá mức cho phép, gây hại cho các cấu trúc MEMS. Bạn cần có bộ điều khiển có khả năng theo kịp tốc độ sấy này.
Chúng tôi thường khuyên nên sử dụng kết hợp bóng đèn hồng ngoại với các bộ phản xạ bằng thạch anh để tập trung năng lượng vào vị trí cần sấy. Dĩ nhiên, việc lắp đặt hệ thống sưởi ấm bằng tia hồng ngoại khá phức tạp hơn so với việc lắp đặt máy thổi khí và bộ phận làm nóng thông thường. Nhưng khi thấy được mức độ tiết kiệm thời gian mà nó mang lại, chi phí đầu tư vào hệ thống này sẽ được bù đắp trong vài tháng thôi.