V prostředí lithografie není proces zahřívání fotorezistu pouhým „nahřátím“. Jedná se o důležitou část celého procesu. Pokud dojde k odchylce v teplotě o jeden nebo dva stupně, dojde ke zhoršení tolerance klíčových rozměrů. Pokud se k tomu přidá ještě vznik částic, může být celý proces zmařen. Potřebujeme tedy infračervený zdroj, který poskytuje spolehlivé zahřívání – bez jakýchkoliv odhadů.
Co je technicky důležité
Infračervená lampa určená k zahřívání fotorezistu využívá krátkovlnné infračervené světlo a rychle reagující křemenné prvky, které dosahují požadované teploty během několika sekund. System je navržen tak, aby teplota na povrchu waferu zůstala stabilní v rozsahu ±0,1 °C – takže každý čip dostane stejný profil teploty. Kompatibilita s čistými prostory třídy 1–100 je zajištěna pomocí materiálů s nízkou emisí plynů a geometrie, která minimalizuje vznik částic. Nulový vznik částic není jen slogán – dosahujeme toho pomocí kontrolovaných materiálů a uzavřeného termálního systému. Lampa funguje 24/7 bez jakýchkoliv plánovaných přestávek, přičemž její výkon zůstává v úzkých mezích po dobu více než 5 000 hodin.
Proč to funguje v praxi
Tato lampa působí právě tam, kde je to nejdůležitější – na povrchu fotorezistu. Rychle zahřeje wafer na požadovanou teplotu a poté ji udrží. Výsledkem je lepší opakovatelnost procesu a méně odpadu. Vysoká rovnoměrnost teploty snižuje vadы na okrajích oblasti zpracování, zatímco rychlá reakce systému na změny teploty zkracuje dobu zahřívání, aniž by došlo ke ztrátě kontroly nad profilem teploty. Spotřeba energie klesá, protože lampa se zahřívá podle potřeby a rychle chladne. Méně výměn lamp znamená také méně poruch v údržbě.
Co je potřeba vědět předem
Instalace znamená sladění geometrie reflektoru a otvoru s vaší pecí určenou k nanášení látek, a také propojení lampy s teplotním systémem pece. Před instalací si ověřte kompatibilitu napětí a konektorů s rozhraním výrobce. Po chladném startu bude potřeba krátký čas na termickou stabilizaci systému. Plánujte své procesy s tím v úvahu, abyste zůstali v požadovaném rozmezí teplot.