In der Fertigungsstelle führt das Fan-Out-WLP-Verfahren dazu, dass während des Trocknungsprozesses sowohl „lebende“ als auch „tote“ Bauteile entstehen. Ist es ein Problem, wenn die Temperatur beim Weichtrocknen des Fotolacks etwas abweicht – oder wenn die Temperatur beim Aushärten des Epoxidharzes leicht von den vorgeschriebenen Werten abweicht? Dadurch kommt es zu Unregelmäßigkeiten in der Linienbreite, zu Lücken im Füllmaterial sowie zu Verformungen der Bauteile. Die thermische Ungleichmäßigkeit über die gesamte Fläche des Bauteils zeigt sich nicht nur in den Messwerten – sie führt auch dazu, dass einige Bauteile als defekt gelten und somit nicht mehr verwendet werden können.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben diesen Heizer für das Fan-Out-WLP-Verfahren entwickelt, um den thermischen Anforderungen gerecht zu werden, die in der Halbleiterfertigung gelten. Die Stabilität der Einstelltemperatur beträgt ±0,1 °C. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der aktiven Oberfläche erreicht. Zudem sorgen die Kurzwellinfrarotkomponenten mit Quarzkern für eine schnelle Reaktion sowie eine präzise Kontrolle der Temperatur während des Weich- und Harttrocknens.
Der Heizer ist für Reinräume der Klassifikation 1–100 geeignet: Er verfügt über eine Konstruktion, bei der Partikelkontrolle gewährleistet ist, sowie über Materialien, die keine Gase abgeben. Der Heizer kann 24/7 ohne unplanmäßige Stillstände betrieben werden – dadurch bleibt die Prozessempfindlichkeit von Charge zu Charge konstant.
Warum das hier funktioniert:
Beim Fan-Out-WLP-Verfahren wird Energie auf größere, dünnere Bauteile übertragen, ohne dass die Ränder beschädigt werden. Der Heizer sorgt dafür, dass die Temperatur genau an der Stelle kontrolliert wird, an der sie am wichtigsten ist – nämlich an der Schnittstelle zwischen dem Fotolack und dem Harz. Dadurch entstehen keine Spannungen oder Dimensioneninstabilitäten. Es ergeben sich vorhersehbare Ergebnisse, weniger Nacharbeiten sind notwendig, und die Aushärtungsprofile bleiben konstant.
Der Energieverbrauch sinkt, da die thermische Masse gering ist und der Regelkreis präzise arbeitet. Zudem verlängern sich die Wartungsintervalle dank der langlebigen Komponenten sowie der reinen mechanischen Verbindungen.
Worauf man achten muss:
Bei der Installation muss die Schnittstelle zum Chucker passen, außerdem müssen Stromversorgung und Steckertyp den Anforderungen der jeweiligen Maschine entsprechen. Die Kammerdrucke sowie der Gasfluss müssen auf den vorgeschriebenen Werten gehalten werden – sonst ändert sich die Gleichmäßigkeit der Temperaturverteilung. Planen Sie außerdem einen kurzen Testlauf, um das thermische Profil zu bestimmen und die Parameter festzulegen.