Comment obtenir plus de chaleur sur les wafers (sans gaspiller d’énergie)
Lorsque l’on travaille dans une usine de semi-conducteurs, l’objectif est assez simple : il s’agit d’acheminer autant d’énergie thermique que possible vers la surface du wafer, sans gaspiller le moindre watt.
Le problème avec les lampes à quartz classiques, c’est qu’elles émettent de la chaleur dans toutes les directions. Sans réflecteur, la moitié de l’énergie est simplement utilisée pour chauffer le châssis de la machine. C’est un gaspillage.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges recouvertes d’or.
Pourquoi l’or ?
Ce n’est pas par souci esthétique. L’or est simplement incroyablement efficace pour renvoyer les rayons infrarouges – bien mieux que l’aluminium ou l’acier poli. Nous appliquons une fine couche d’or à l’arrière de l’enveloppe en quartz, ce qui force les photons à rebondir et à se diriger directement vers la cible.
Le résultat ? On double presque l’intensité de la chaleur sur le wafer. On obtient ainsi une densité thermique beaucoup plus élevée, sans avoir besoin d’augmenter la puissance de la lampe.
Les inconvénients
Il y a cependant un inconvénient : lorsque l’énergie est concentrée à ce point, le boîtier de la lampe en subit les conséquences. Nous avons constaté que, bien que le revêtement en or rende les lampes plus efficaces, il exerce également une pression supplémentaire sur les joints de la lampe. Il faut donc s’assurer que les ventilateurs de refroidissement soient capables de gérer la chaleur supplémentaire générée dans la chambre de polymérisation. Sinon, les lampes se brûleront beaucoup plus rapidement qu’ils ne le devraient.
Utilisation dans vos lignes de production
Ces lampes sont conçues pour remplacer directement celles existantes. Elles fonctionnent parfaitement avec vos lignes de production actuelles.
Le vrai secret réside dans la longueur focale de la lampe. Nous nous concentrons beaucoup sur le réflecteur, afin que le point chaud se situe précisément au centre du wafer. Si le support de la lampe est légèrement décalé, la distribution de l’énergie change, et le polymérisation devient inégal. Ce n’est pas bon.
Nous concevons ces lampes pour des environnements où le temps d’arrêt est un problème majeur. Vous obtenez ainsi un meilleur contrôle thermique, et les temps de démarrage sont considérablement réduits.
Une dernière chose : veillez à garder la surface en or impeccablement propre. Un peu de pollution ou d’oxydation sur le réflecteur peut réduire drastiquement son efficacité.