Sur le poste de lithographie, l’étape PEB permet de définir précisément la largeur des lignes tracées sur la pâte photorésistive. En ajustant la température de 0,5 °C, on obtient un profil de chauffage qui reste constant, ce qui évite des ajustements répétés au cours des semaines suivantes. Nous avons conçu cet chauffage spécial pour éliminer cette variable indésirable.
Ce qui est important en interne Le cœur du système est un ensemble d’émetteurs à ondes courtes en quartz-halogène, associés à un système de contrôle en boucle fermée. Sur une pâte de 300 mm, l’uniformité thermique reste dans les limites de ±0,1 °C. La reproductibilité d’une série à l’autre est également de ±0,2 °C, ce qui garantit que le profil d’activation de la pâte photorésistive ne varie pas. Les matériaux utilisés dans la chambre sont adaptés aux conditions d’une salle propre de classe 1–100. De plus, la géométrie du chauffage permet de minimiser les turbulences, ce qui évite la formation de particules pendant le processus de chauffage. On obtient ainsi des valeurs stables entre 90 °C et 150 °C, avec des taux d’augmentation de température pouvant atteindre 10 °C/seconde. Le design du système permet également d’éviter la formation de points chauds sur la pâte.
En résumé : une erreur de température lors de l’étape PEB se traduit directement par des erreurs de précision et une diminution du rendement. Avec ce chauffage, les profils de chauffage fonctionnent comme prévu, sans être influencés par les caprices de l’appareil. Cela permet de réduire le nombre de pâtes invendables, d’obtenir une distribution plus précise des couches critiques, et d’accélérer les cycles de validation.
De plus, on économise de l’énergie, car la source à ondes courtes chauffe uniquement la pâte, et non l’environnement autour d’elle. La faible masse thermique réduit également le temps nécessaire pour passer de l’état de repos à l’état de chauffage. Enfin, ce système peut fonctionner 24/7, avec des périodes de maintenance prévisibles.
Ce dont vous avez besoin pour l’utiliser Le chauffage fonctionne avec des interfaces standards FOUP et SEMI. Cependant, il nécessite une ligne de commande dédiée de 24 V, ainsi qu’un air sec et propre pour assurer un bon fonctionnement du système. Lors de l’installation, prévoyez 30 minutes pour l’alignement et la vérification de la stabilité thermique. Par la suite, effectuez une vérification quotidienne de l’uniformité en utilisant une pâte calibrée.
Si vous travaillez dans une pièce à haute humidité, assurez-vous que le débit d’air est suffisant. Sinon, la condensation peut perturber le faisceau infrarouge, ce qui entraîne des écarts minimes mais répétitifs.