בחדרי הליתוגרפיה, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו רק דרך לחימום המערכת – זהו חלק בלתי נפרד מתהליך העיבוד. אם טמפרטורת החימום תעלה או תירד במעט, הטלורנציות החשובות של הממדים יפגעו. בנוסף, ייצור של חלקיקים עלול לגרום לכישלון התהליך כולו. יש צורך במקור אינפרא-אדום שיוכל לספק חום באופן עקבי – בלי צורך בהערכות.
מה חשוב מבחינה טכנית
בנינו את המנורה האינפרא-אדומה עבור פוטורזיסט, תוך שימוש ברכיבי קוורץ שמגיבים במהירות. המערכת מיועדת להבטיח אחידות טמפרטורית של ±0.1°C על פני כל שטח החימום, כך שכל חלק מהווהף יקבל את אותו תנאי חימום. המערכת מתאימה לתנאי חדרי ניקיון מסוג 1–100, באמצעות שימוש בחומרים שאינם מפרישים גזים, וגאומטריה שמונעת את ייצור החלקיקים. אין ייצור של חלקיקים – זו לא רק טענה, אלא מציאות שאנו מבטיחים באמצעות חומרים מבוקרים ומסלולי חימום אטומים. המנורה פועלת 24/7 ללא הפסקות, והאופטימליות שלה נשמרת לאורך למעלה מ-5,000 שעות.
למה זה עובד בפועל
המנורה מספקת את החום הנדרש בדיוק באזורים החשובים. היא מחממת את הווהף במהירות ואז שומרת על הטמפרטורה הזו. כתוצאה מכך, התהליך נעשה עקבי יותר, ויש פחות כישלונות. האחידות הגבוהה מפחיתה את הפגמים בקצוות הווהף, והתגובה המהירה של המנורה מקצרת את זמן החימום מבלי לפגוע בשליטה על הפרופיל של הווהף. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמנורה מחממת בהתאם לצורך וקורה במהירות. כמו כן, פחות צורך בהחלפת המנורות פירושו פחות הפרעות בתהליך.
דברים שצריך לדעת מראש
ההתקנה כוללת התאמת גאומטרית של המנורה לתנאי התנור, וחיבורה למערכת הבקרה של התנור. לפני ההתקנה, יש לוודא שהמתח והחיבורים תואמים למערכת של היצרן. יש לצפות לזמן התאמה קצר לאחר ההפעלה הראשונה, עד שהמערכת תירגע מבחינה טמפרטורית. יש לתכנן את זמני החימום בהתאם, כדי להישאר בטווח הנדרש.