Meer warmte op de wafer brengen (zonder energie te verspillen)
Wanneer je in een半导体fabriek werkt, is het doel vrij eenvoudig: je wilt zoveel mogelijk thermische energie op het oppervlak van de wafer krijgen, zonder dat er ook maar één watt energie wordt verspild.
Het probleem met standaard kwartslampen is dat ze warmte in alle richtingen uitzenden. Als je geen reflector hebt, wordt de helft van de energie gebruikt om het machinechassis op te warmen. Dat is pure verspilling.
Daarom gebruiken we infraroodlampen met een goudcoating.
Waarom goud?
Het gaat niet om esthetiek. Goud is gewoon uitstekend in het terugkaatsen van infraroodstraling – veel beter dan aluminium of gepolijst staal. We leggen een dunne laag goud op de achterkant van de kwartsmantel. Hierdoor worden de fotonen naar het midden van de wafer geleid.
Het resultaat? De intensiteit van de warmte op de wafer verdubbelt. Je krijgt een grote toename in warmtetegenzetting, zonder dat je de sterkte van de lamp hoeft te verhogen.
De nadelen
Er is echter wel een nadeel: wanneer je zoveel energie concentreert, wordt de lamp zelf zwaar belast. We hebben gemerkt dat de goudcoating hoewel het de efficiëntie vergroot, ook meer druk uitoefent op de sluitingen van de lamp. Je moet ervoor zorgen dat de koelventilatoren de extra hitte aankunnen. Als de luchtcirculatie slecht is, zullen de lampen sneller kapotgaan dan nodig is.
Het inzetten in je productielijn
Deze lampen zijn ontworpen als vervanging voor bestaande lampen. Ze werken prima samen met je huidige productielijnen.
Het echte geheim zit in de brandpuntsafstand. We letten goed op de reflector, zodat de warmte precies in het midden van de wafer terechtkomt. Als de lamp iets scheef hangt, verandert de energieverdeling en zal de wafer ongelijkmatig worden behandeld. Dat ziet er niet goed uit.
We bouwen deze lampen voor omgevingen waar stilstand een groot probleem is. Hierdoor wordt de warmtetegenzetting beter gereguleerd en kunnen de productietijden worden verkort.
Een laatste tip: houd het gouden oppervlak schoon. Een beetje vuil of oxidatie op de reflector kan de efficiëntie van de lamp direct verminderen.