Op de productieafdeling is het bekend dat een verschil van 1°C tijdens het ‘soft bake’-proces of het drogen van de wafer al voldoende is om de kritische afmetingen te verstoren en de opbrengst te verminderen. Daarom is de infraroodlamp in de apparaten zo ontworpen dat er geen risico’s meer zijn wat betreft de temperatuur.
Wat belangrijk is in de praktijk
Wij gebruiken korte golflengte-infraroodstralers in combinatie met hoge-kwaliteit kwartsgehakt. Hierdoor wordt er snel en gericht warmte gegenereerd, met een reactietijd van minder dan een seconde. De temperatuurovereenstemming op het oppervlak van de wafer blijft binnen ±0,1°C, terwijl de herhalbaarheid van de instellingen rond de ±0,5°C ligt. Het systeem genereert geen vuil tijdens het gebruik en is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1 tot 100. De stroomvoorziening is stabiel, met nauwe toleranties voor spanning en constante stralingssterkte. Hierdoor blijft het thermische profiel constant, zowel tussen verschillende apparaten als tussen verschillende shifts.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie en daarbuiten
In de lithografie zorgt het ‘soft bake’-proces voor het verwijderen van oplosmiddelen en het verbeteren van de hechting van de fotoresist. Het ‘hard bake’-proces zorgt er juist voor dat het patroon vastligt voordat het wordt geëtst. Onze infraroodlampen zorgen voor stabiliteit in beide processen, waardoor de ruwheid van de lijnen wordt verminderd en er geen problemen ontstaan met de randen van het patroon. Voor het reinigen en drogen van wafers zorgt de snelle temperatuurstijging ervoor dat het proces sneller verloopt, zonder dat er te veel energie wordt verbruikt. Het resultaat is een hogere productiviteit, minder herwerkingen en consistente resultaten bij elke behandeling.
Tips die helpen om problemen te voorkomen
Voor een goede installatie is het belangrijk dat de lamp, het gehakt en de reflector precies op elkaar zijn uitgelijnd, zodat de vereiste uniformiteit wordt behaald. Voordat het apparaat in gebruik wordt genomen, moet de thermische verbinding en de koelingsweg worden gecontroleerd. Ook moet het materiaal van het gehakt goed samenwerken met de chemische stoffen in de fotoresist. Plan regelmatig vervanging van de lampen, zodat de stralingssterkte constant blijft en het thermische profiel binnen de vereisten valt.