Trong quy trình sản xuất, bạn biết đấy: chỉ cần có sự lệch lạc 0,5 độ trong quá trình nung ấm, thì việc kiểm soát các kích thước quan trọng của wafer sẽ bị ảnh hưởng, dẫn đến các khiếm khuyết trên bề mặt wafer. Vì vậy, cần có nguồn nhiệt ổn định, chứ không phải nguồn nhiệt có thể thay đổi liên tục.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Chúng tôi sử dụng bóng đèn hai ống, được phủ lớp vàng, hoạt động dựa trên sóng hồng ngoại tần số cao. Bóng đèn này được đặt trong vỏ thủy tinh phủ vàng. Nhờ đó, việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và đồng đều, với mức tổn thất năng lượng gần như bằng không. Cấu trúc hai ống giúp phân bố nhiệt đều hơn, giúp giảm thiểu các vùng nóng và nâng cao độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ wafer.
Trên thực tế, nhiệt độ của wafer có thể được kiểm soát ở mức ±0,1°C trong quá trình nung ấm, và độ chính xác của mức nhiệt đó là ±0,2°C giữa các lô sản xuất khác nhau. Lớp vàng phủ trên bóng đèn giúp phản xạ ánh sáng hồng ngoại trở lại vùng cần được gia nhiệt, từ đó giúp kiểm soát tốt hơn nhiệt độ và tiết kiệm năng lượng. Sau 5.000 giờ hoạt động, hiệu suất của bóng đèn vẫn ổn định, với mức sai số ít hơn 5%.
Tại sao bóng đèn này phù hợp để sử dụng trong sản xuất: Quy trình xử lý photoresist đòi hỏi độ chính xác rất cao. Quá trình nung ấm giúp điều chỉnh độ nhớt và khả năng bám dính của chất liệu; còn quá trình nung cứng giúp hoàn thiện hình ảnh trên wafer và chuẩn bị wafer cho bước etching. Bóng đèn này có thể được sử dụng trong các môi trường sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động.
Kết quả là, việc kiểm soát kích thước wafer trở nên chính xác hơn, số lượng sản phẩm phải được sửa chữa giảm đi, và lượng phế phẩm cũng giảm. Nhiệt lượng được phân bố đúng nơi cần thiết, vì vậy không có sự lãng phí năng lượng. Bóng đèn này cũng có thể hoạt động ổn định trong suốt 24/7, giúp giảm thiểu các sự cố và thời gian bảo trì.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt: Việc lắp đặt đòi hỏi sự căn chỉnh chính xác về mặt quang học, cùng với hệ thống giữ wafer được bảo vệ tốt khỏi rung động. Chỉ cần sai lệch vài milimét thôi cũng có thể ảnh hưởng đến độ đồng đều của nhiệt độ.
Bóng đèn hoạt động ở cường độ cao, vì vậy cần phải điều chỉnh hệ thống điều nhiệt của wafer và thời gian mở/hoạt động của bóng đèn cho phù hợp. Trước khi lắp đặt, hãy kiểm tra kỹ xem điện áp và kết nối có tương thích với thiết bị liên quan hay không. Khi mọi thứ được căn chỉnh đúng cách, bạn sẽ có được các thông số nhiệt độ ổn định, ngày này qua ngày khác, lô này qua lô khác.