碳纳米管制备加热器

保持晶圆清洁：碳纳米管加热器的安全问题 如果你从事碳纳米管的制造工作，那么你肯定知道其中的风险。高强度的红外灯用于触发化学气相沉积过程，一切似乎都很顺利。但是，当这些灯在高压环境下工作时，情况就可能变得危险起来。 最糟糕的情况就是：灯泡爆炸了。那样一来，石英碎片和卤素气体就会溅到晶圆上，导致整个批...