リソグラフィーの工程において、PEBステップではウェハの線幅を正確に制御する必要があります。ウェハ上の温度を0.5°Cだけ変化させるだけで、何週間もかけて調整しなければならないバイアスが生じてしまいます。このポストエクスポージャーベイクヒーターを使えば、そのような不確定要素を排除できます。
内部で重要なのは何か 核心部分は、クォーツ-ハロゲン式の短波発振器アレイであり、これにループ制御が組み合わされています。300mmのウェハ全体において、温度の均一性は±0.1°C以内に保たれます。また、ロット間の再現性も±0.2°C以内であり、フォトレジストの活性化プロファイルが変動することはありません。チャンバーの材料はクラス1～100のクリーンルーム基準に適合しており、ヒーターの構造によって乱流が抑えられるため、ベイク中に粒子が発生することはありません。90°Cから150°Cまでの安定した設定値が得られ、昇温速度は10°C/秒です。また、ホットスポットが発生しないように配置されています。
重要なのは、PEBの温度誤差が直接CDの誤差や歩留まりの低下につながるという点です。このヒーターを使えば、ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが、装置が自動的に決定するのではなく、意図通りに実行されます。その結果、スクラップとなるウェハが減り、重要な層の分布がより正確になり、試験サイクルの時間も短縮されます。
また、短波光源が対象物を加熱するため、周囲の空気が加熱されることはありません。そのため、エネルギーの節約にもつながります。さらに、低い熱容量のため、待機状態からベイク状態への移行時間も短縮されます。このシステムは24時間365日の運転に対応しており、メンテナンスも計画的に行うことができます。
使用するために必要なもの このヒーターは、標準的なFOUPやSEMIインターフェースで動作しますが、ウィンドウの Purge 効果を維持するためには、専用の24V制御線と清潔で乾燥した空気が必要です。設置時には、30分程度をかけて位置合わせと温度の確認を行ってください。その後は、校正済みのウェハを使って毎日温度の均一性をチェックしてください。
高湿度の環境で使用する場合は、Purgeの流量を確認してください。そうでないと、結露によって赤外線の伝播が妨げられ、微小ながらも再現可能なオフセットが生じる可能性があります。