Запобіжте перегріву пристроїв для обробки напівпровідників
Проблема стандартних інфрачервоних ламп полягає у тому, що вони випромінюють тепло в усіх напрямках. У тісній камері для обробки напівпровідників це може призвести до серйозних наслідків. Усі ці випромінювання потрапляють на внутрішні стінки камери, створюючи точки підвищеної температури, які можуть пошкодити корпус пристрою чи навіть спалити оператора.
Ми знайшли спосіб вирішення цієї проблеми. Ми використовуємо лампи з золотим покриттям.
Чому саме золото?
Це звучить складно, але насправді все досить просто. Ми наносимо тонкий шар золота на задню частину кварцової оболонки лампи. Золото діє як дзеркало для інфрачервоного світла. Таким чином тепло не потрапляє всередину корпусу пристрою, а повертається назад до об’єкта обробки. Це перетворює лампу з звичайного нагрівача на пристрій для точної обробки. Ви отримуєте значно більшу концентрацію тепла на об’єкті обробки, без необхідності перегріву внутрішніх частин пристрою.
Важливі моменти, про які варто знати
Є один недолік: оскільки всю енергію концентрують на одній ділянці, щільність тепла на об’єкті обробки зростає. Тож потрібно бути дуже обережними з параметрами керування температурою. Якщо ви не будете точними, можна перевищити бажану температуру. Щоб подолати стрес від швидкого нагрівання та охолодження, ми використовуємо кварц високої чистоти. Також ми налаштовуємо елементи кріплення ламп, щоб вони залишалися на місці, навіть якщо пристрій вібрує.
Як це врахувати у вашій системі
Найкраще – це можливість відмовитися від великих захисних елементів та потужних вентиляторів для охолодження. Це значно полегшує внутрішню конструкцію пристрою.
Один порада: під час підключення ламп переконайтеся, що золота сторона знаходиться подалі від будь-яких пластикових частин чи проводів.
Якщо ви встановлюєте ці лампи у стару систему, обов’язково перевірте харчування пристрою. Оскільки об’єкт обробки піддається більшому тепловому навантаженню, можливо, доведеться сповільнити процес нагрівання. Не варто ризикувати пошкодженням об’єкта обробки через поспіх.