Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, việc làm nóng chất bảo vệ bề mặt wafer không chỉ đơn thuần là bước khởi động máy móc. Đó chính là bước điều chỉnh nhiệt độ cần thiết. Nếu nhiệt độ trong quá trình làm nóng tăng lên vài độ thôi, thì độ chính xác của các thông số kỹ thuật sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Nếu còn có sự xuất hiện của các hạt bụi nữa, thì toàn bộ sản phẩm sản xuất ra sẽ bị hỏng. Do đó, cần có nguồn ánh sáng hồng ngoại có khả năng cung cấp nhiệt độ ổn định – không thể dựa vào sự phỏng đoán.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Chúng tôi đã chế tạo bóng đèn hồng ngoại dành cho việc làm nóng chất bảo vệ bề mặt wafer, sử dụng các linh kiện thạch anh có khả năng phản ứng nhanh với nhiệt độ. Hệ thống này được thiết kế sao cho nhiệt độ trên bề mặt wafer duy trì ở mức ±0,1°C, nhờ đó mỗi chiếc wafer đều nhận được cùng một mức nhiệt độ. Hệ thống này cũng được thiết kế để phù hợp với tiêu chuẩn phòng sạch loại 1–100, bằng cách sử dụng các vật liệu ít tạo ra bụi và cấu trúc thiết kế giúp giảm thiểu sự xuất hiện của bụi. Việc loại bỏ hoàn toàn bụi không phải là khẩu hiệu suông – chúng tôi đảm bảo điều này thông qua việc sử dụng các vật liệu được kiểm soát chặt chẽ và cấu trúc thiết kế giúp giữ nhiệt độ ổn định. Bóng đèn hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào, và công suất phát sáng vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng.
Tại sao phương pháp này hiệu quả? Bóng đèn này hoạt động chính xác vào thời điểm cần thiết để làm nóng chất bảo vệ bề mặt wafer. Nó giúp nâng nhiệt độ wafer lên nhanh chóng, sau đó giữ nguyên nhiệt độ đó. Kết quả là quy trình sản xuất trở nên ổn định hơn, và tỷ lệ sản phẩm hỏng giảm xuống. Độ ổn định cao giúp giảm thiểu các khuyết tật ở các vùng biên của wafer, còn khả năng phản ứng nhanh với nhiệt độ giúp rút ngắn thời gian làm nóng mà vẫn giữ được độ chính xác của quy trình. Việc sử dụng ít năng lượng hơn cũng là một lợi ích khác, vì bóng đèn chỉ hoạt động khi cần thiết và có khả năng làm mát nhanh. Việc thay thế bóng đèn cũng ít xảy ra hơn, do đó giảm thiểu được các sự cố liên quan đến bảo trì.
Những điều cần biết trước khi lắp đặt: Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng kích thước của phản xạ và kính thu ánh sáng phù hợp với lò nung được sử dụng. Đồng thời, cần kết nối bóng đèn với hệ thống điều khiển nhiệt độ của lò nung. Trước khi lắp đặt, hãy kiểm tra xem điện áp và đầu nối có tương thích với giao diện của nhà sản xuất hay không. Hãy lên kế hoạch cho quy trình làm nóng sao cho phù hợp với điều kiện nhiệt độ của hệ thống, như vậy bạn mới có thể duy trì được quy trình sản xuất trong phạm vi yêu cầu.