Přestaňte čekat na troubu: Proč IR převyšuje forced air v polopřípravných procesech
Pokud jste někdy strávili čas v laboratoři s polovodiči, znáte frustráci z čekání na cirkulaci horkého vzduchu. Je to naprostá ztráta času. Forced air je v podstatě hra na čekání: nejprve se zahřívá vzduch, poté komora – a teprve potom, pokud máte štěstí, i substrát. Je to pomalé, a ve vysokotlakém výrobním prostředí se toto odkládání zdá být věčností.
A zde přicházejí na řadu infračervené lampy určené k použití v čistých místnostech. Místo zahřívání celé místnosti posílají IR lampy energii přímo do cílové oblasti.
Je to úplně jiný pocit.
Když přejdete z konvekční trouby na IR lampu, přestanete jednat s celým objemem vzduchu a začnete působit přímo na povrch materiálu. Tyto lampy dosahují své provozní teploty během sekund. Už nemusíte čekat na dokončení „období zahřívání“. Pro váš tým to znamená, že se snižuje doba potřebná na zpracování každého waferu. Můžete rychleji zahájit procesy a skutečně posunout výrobu kupředu.
Ale existuje jeden problém.
Jelikož tyto lampy vyvíjejí velké množství tepla na omezeném prostoru, vzniká velké množství koncentrovaného tepla. Nemůžete prostě umístit IR lampu na místo určené pro chladný vzduch a doufat v to, že vše bude v pořádku. Musíte se ujistit, že vaše systémy ventilace dokážou tento nápor tepla zvládnout, jinak prostě vyměníte jeden problém za druhý.
Potom je tu ještě faktor čistoty.
Větrátka v podstatě přesouvají prach – což je to poslední, co chcete v čisté místnosti. IR lampy nepřesouvají vzduch. Jsou tiché a čisté.
Největší výhody vidíme v fázích zasychání a odplyňování. Místo čekání na to, až se komora „nasytí“, IR lampa okamžitě působí na materiál. Je to rychlé. A pro každé zařízení, které se snaží zpracovat více waferů bez újmy na kvalitě, je to obvykle první změna, kterou provedou.