In der Fertigungshalle gilt: Schon eine Abweichung von eben einmal einem halben Grad bei der Aufheizung des Fotoleitmaterials kann dazu führen, dass die Kontrolle über die wichtigen Dimensionen gestört wird – und gute Wafer dadurch zu Verschrottung werden. Es ist also notwendig, dass die Temperatur schnell ansteigt, sofort konstant bleibt – und das von Zyklus zu Zyklus.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben unseren schnellen Waferheizer mit Halogenlampen mit Kurzwellen speziell für solche Anwendungen entwickelt. Diese Wahl dient dazu, die Geschwindigkeit zu erhöhen und gleichzeitig eine konstante Temperatur zu gewährleisten. Über die gesamte Fläche der Wafer bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C – und die Wiederholgenauigkeit bei ±0,2°C, selbst nach Tausenden von Aufheizvorgängen.
Der Lampenkörper ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet. Die verwendeten Materialien wurden sorgfältig ausgewählt, um eine Partikelbildung zu vermeiden und somit die Prozessqualität zu erhalten. Die Leistungsstabilität liegt bei 1%, selbst nach mehr als 5.000 Stunden Betriebszeit – dadurch kann die Anlage 24/7 betrieben werden, ohne dass es zu unplanmäßigen Stillständen kommt.
Warum das in der Lithografie wichtig ist
In der Lithografie sorgt die sanfte Aufheizung dafür, dass Lösungsmittel entfernt werden und der Druck auf dem Film entsteht. Die starke Aufheizung hingegen festigt das Muster, damit es beim Etchen übertragen werden kann. Wenn die Temperaturen präzise eingehalten werden, entstehen keine Probleme bei der Kontrolle der Linienbreite. Das Ergebnis sind konsistente Ergebnisse, weniger Umarbeitungen und eine höhere Ausbeute bei der ersten Bearbeitungsschicht.
Auch die schnelle Lieferung der Lampen ist wichtig. Wenn man die Lampen innerhalb weniger Stunden ersetzen kann, statt Wochen, kann man den Zeitplan einhalten und Verzögerungen vermeiden. Der Energieverbrauch wird durch das Kurzwellenspektrum sowie ein effizientes Reflektordesign unter Kontrolle gehalten – dadurch sinken die Betriebskosten, ohne dass die Produktivität beeinträchtigt wird.
Was man unbedingt überprüfen sollte
Die Lampe ist zwar für Standardwaferheizplattformen konzipiert, doch die Abmessungen sowie die Befestigungsmöglichkeiten unterscheiden sich je nach Hersteller. Vor der Installation sollten Sie unbedingt die mechanischen Eigenschaften, die elektrischen Anschlüsse sowie die Kompatibilität der Steuersignale überprüfen.
Für optimale Leistung sollte die Lampe im vorgegebenen Spannungsbereich betrieben werden. Zudem müssen der optische Weg sowie die Kühlung gemäß den Vorgaben gewährleistet werden. Andernfalls kann es zu Temperaturspitzen während des schnellen Aufheizvorgangs kommen.