ウエハー硬化ランプ用リフレクター

工程について ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は単なる熱処理のステップではなく、熱予算そのものです。ターゲットから半度でも外れると、クリティカル寸法のドリフトや歩留まりの損失が、ロットごとに発生します。この予算は、熱が形作られる場所、すなわちウエハー硬化ランプのリフレクターで強制されます。...