工場乾燥設備のエネルギー診断

汚れを起こさずにウェーハを乾燥させる方法 もし、クラス100の清浄室を運営しているなら、粒子が飛び散ってしまうという悩みはよく知っているでしょう。安価なヒーターから出る微小な破片や、品質の低いランプから出るガスだけで、ウェーハが破損してしまいます。その結果、生産効率が低下し、大変な事態になります。...