ウエハーを清潔に保つために：CNTヒーターの安全性の現実 もし炭素ナノチューブの製造に携わっているなら、ご存知でしょう。高強度の赤外線ランプを使って化学気相堆積を行い、すべてが順調に進んでいく。しかし、大量生産の状況下でこれらのランプに過度な負荷をかけると、問題が発生する可能性があります。 最悪の...

シャードの発生を防ぐ：ウェーハを破壊しないIRランプの設計 高負荷の製造環境では、IRランプが故障すると大変な問題になります。停電だけが問題なわけではありません。問題は、石英管が破損することでウェーハにガラスの破片や微粒子が付着してしまうことです。これは完全な災害です。 私たちは、そのような事態を...

なぜ水素センサーにIR加熱を採用したのか 水素センサーを作るのは非常にデリケートな作業です。正確な温度管理が求められます。そうでなければ、膜が損傷したり、触媒の沈着が乱れたりする危険があります。長い間、みんなは従来の抵抗式オーブンを使ってきました。しかし正直なところ、それはかなり非効率的です。 私...

バイオセンサーの熱的統合を正しく行うためには、化学的反応や基材の硬化処理を毎回正確に行う必要があります。そうでなければ、作った製品は全て無駄になってしまいます。 そのため、私たちは短波長のIRランプを使用します。部品周辺の空気を加熱する方法は遅く、面倒ですが、このランプならエネルギーを直接材料に照...