もう、エアヒーターが温まるのを待つ必要はありません。IRやクォーツの力を活用しましょう。 正直言って、空気が温まるのを待つのは非効率的です。半導体製造工場では、その数秒間の「無駄な時間」が積み重なり、全体の工程が遅くなってしまいます。 だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプと高純度のクォーツ製シ...

製造現場では、ソフトベイク時のわずか0.5度のずれだけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変化してしまいます。そうなると、重要な寸法制御が失われてしまいます。ウェーハが待機状態になり、装置も無駄になってしまいます。また、思っていたほどの熱管理もできなくなります。 内部で重要なのは何か 私た...