ウェーハ用高精度IRセンサー
なぜ、すべてのIRセンサーをテストするのか?そして、それがお客様の製造現場にとってなぜ重要なのか? 正直に言えば、ウェーハ製造工場では、わずかな電気漏れでも大問題です。一度でもミスがあれば、大量のシリコンが台無しになったり、家の価値以上の高価な装置が故障したりします。だからこそ、ここでは「バッチサ...
水素センサー製造用ヒーター
なぜ水素センサーにIR加熱を採用したのか
水素センサーを作るのは非常にデリケートな作業です。正確な温度管理が求められます。そうでなければ、膜が損傷したり、触媒の沈着が乱れたりする危険があります。長い間、みんなは従来の抵抗式オーブンを使ってきました。しかし正直なところ、それはかなり非効率的です。
私...
MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター
なぜMEMSウェーハの乾燥にはIR加熱がホットエアより優れているのか
もしまだMEMSセンサーのウェーハを乾燥させるためにホットエアを使用しているなら、単に待つだけで多くの時間を浪費していることになります。これは大きなボトルネックです。
ホットエアは対流に頼っています。まず空気を加熱し、その後その...
スマートセンサーパッケージング・赤外線
スマートIRを使った半導体パッケージの清掃
正直に言えば、半導体の製造は非常にエネルギーを消費するプロセスです。センサーのパッケージングにおいても、多くの工場では依然として従来の対流式オーブンを使って加熱や乾燥を行っています。しかし、これらのオーブンは効率が悪く、熱がどこにでも漏れ出し、「グリーン...