炭素繊維赤外線ランプ工場
カーボンファイバーIRを活用して、スマートファブを真に「スマート」なものにするには？
スマートファブを構築する際、Industry 4.0の流行に流されがちです。しかし実際には、単にヒーターを購入するだけではありません。つまり、データポイントを設置しているのです。
そのため、私たちはカーボンファイ...
すすぎ用の防水赤外線ランプ
クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つのは非常に困難です。たとえ世界で最も優れた空気浄化装置を使っていても、洗浄工程の最中にヒーターから粒子や有害物質が放出されてしまえば意味がありません。そうなると、生産効率が低下してしまいます。
これを防ぐために、私たちは高純度の合成石英を使って防水型の赤...
認定済みの赤外線硬化ランプ製造工場
ウェーハにより多くの熱を与える方法（電力の無駄を避けて）
半導体製造工場で作業する際の目標は単純です。できるだけ多くの熱エネルギーをウェーハの表面に届け、1ワットたりとも無駄にしたくないのです。
しかし、通常のクォーツランプの場合、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。反射板がなければ、エネルギ...
赤外線ランプ用アルミニウム反射板
ワットの無駄遣いをやめよう：なぜ金メッキされた反射材が重要なのか 半導体ウェーハの加工を行っている場合、1ワットごとにも意味があります。反射材が十分な効果を発揮できず、高価なエネルギーが機械の筐体内に消費されてしまうのは、本当に腹立たしいことです。
ほとんどの工場では、標準的なアルミニウムを使用し...
UHP 超高純度 ヒーターランプ
半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハや基板を所定の温度にする必要がありますが、他の機器まで高温になってしまうのは避けたいものです。
一般的なヒーターは、基本的には電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します。そのエネルギーの多くは、単に機械の壁に当たっ...
ファブレーションランプ用の石英ガラスシールド
もう、エアヒーターが温まるのを待つ必要はありません。IRやクォーツの力を活用しましょう。
正直言って、空気が温まるのを待つのは非効率的です。半導体製造工場では、その数秒間の「無駄な時間」が積み重なり、全体の工程が遅くなってしまいます。
だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプと高純度のクォーツ製シ...
半導体用金メッキ赤外線ランプ
半導体製造装置が過熱するのを防ぎましょう。
一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。狭い半導体製造装置内では、これは大変な問題です。その余分な熱が内壁に当たり、過熱した部分ができてしまい、装置が損傷したり、最悪の場合、作業員が火傷してしまうこともあります。
しかし、こ...
バイオセンサーの製造における赤外線ランプ
バイオセンサーの熱的統合を正しく行うためには、化学的反応や基材の硬化処理を毎回正確に行う必要があります。そうでなければ、作った製品は全て無駄になってしまいます。
そのため、私たちは短波長のIRランプを使用します。部品周辺の空気を加熱する方法は遅く、面倒ですが、このランプならエネルギーを直接材料に照...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
もうオーブンを待つのはやめましょう：半導体加工においてなぜ赤外線が強制送風より優れているのか
半導体ラボで働いたことがある人なら、熱風が循環するのを待つという面倒さを知っているはずです。それは本当に時間の無駄です。強制送風方式では、まず空気を加熱し、その後チャンバーを加熱し、最終的に――運が良けれ...
ファブ向け 最高評価のRTPランプ
この最高評価を受けているRTPランプは、アメリカや日本の大手メーカー製品にも匹敵する性能が求められるファブ環境で安定して動作するように設計されています。嬉しいことに、そのような高水準の性能を得るために高額な費用を支払う必要はありません。
電力、電圧、サイズ：実際の使用状況を考慮した設計 急速熱処理...
フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ
リソグラフィー工程において、フォトレジストの加熱処理は単なるウォームアップではありません。これは重要な熱管理のプロセスです。もし、緩やかな加熱や強制的な加熱の温度が1度や2度でもずれてしまうと、重要な寸法精度が失われてしまいます。さらに、粒子の発生が加わると、全てが台無しになってしまいます。再現性...
ウェーハツール用赤外線ランプソケット
製造現場では、フォトレジストのソフトベイクやウェーハの乾燥時に1℃程度の温度変動があっただけで、重要な寸法が変わり、歩留まりが低下してしまいます。そのため、ウェーハ処理装置に搭載されている赤外線ランプのソケットは、熱管理を正確に行うために設計されています。
内部で何が重要か 私たちは、高純度の石英...
迅速配送 ウェーハヒーターランプ
ファブの現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に、わずか0.5度でも温度が変動すると、ウェーハの寸法管理が崩れ、良品であったはずのウェーハが廃棄されてしまいます。そのため、急速に温度を上げ、すぐに安定させ、その状態を繰り返し維持することが必要です。
内部で何が重要か 私たちが開発した高...
脱イオン水用乾燥ランプ
ファブの現場では、リソグラフィーの後に発生するわずかな水分が大きな問題を引き起こすことがあります。従来の乾燥方法では温度が不安定であり、粒子が熱い表面から直接フィルム内に入ってしまいます。私たちは、そのような不確実性を排除するために脱イオン水を用いた乾燥装置を開発しました。短波長の赤外線が水膜に素...
ツインチューブ型金メッキランプ
製造現場では、ご存知の通り、ソフトベイクの際にわずか半度のずれがあっただけで、重要な寸法管理が崩れ、フォトレジストに欠陥が発生してしまいます。そのため、一定の性質を持つ熱源が必要であり、別の変数として扱われるような熱源は適していません。
技術的に重要な点 私たちが使用しているのは、金コーティングさ...
ウエハー硬化ランプ用リフレクター
工程について ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は単なる熱処理のステップではなく、熱予算そのものです。ターゲットから半度でも外れると、クリティカル寸法のドリフトや歩留まりの損失が、ロットごとに発生します。この予算は、熱が形作られる場所、すなわちウエハー硬化ランプのリフレクターで強制されます。...
Applied Materials装置用赤外線ランプ
ファブフロアでは、熱ドリフトはサイレンや停止として現れるわけではない。重要寸法がズレたり、エッジビードが薄くなったり、歩留まりの低下が数時間かけて原因追跡される形で現れる。Applied Materialsの装置において、ヒーターは変動要因であってはならず、プロセスが依存できる一定の存在でなければ...